SEC-E Series

Mass Flow Controller SEC-E Series

大流量・エコノミーマスフローコントローラ

信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したオールマイティモデルの高精度アナログマスフローコントローラです。10 SCCMから200SLMまでのワイドな流量制御範囲く幅広い産業でお使いいただけます。

 

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 広範囲な流量制御:0.2SCCM~200SLM(N2)

  • 幅広い用途に対応
    一般産業市場において多数の納入実績を誇っています。

  • ローコストモデルもラインナップ(SEC-E40MK3/E50MK3)

 

 

 

SEC-E Series 仕様一覧

 

外形寸法図・他(単位:mm)

Gas Mass Flow Control and Measurement in Research and Testing Laboratories
Gas Mass Flow Control and Measurement in Research and Testing Laboratories
Gas Mass Flow Control and Measurement for Reference Value of PM2.5 Measurement
Gas Mass Flow Control and Measurement for Reference Value of PM2.5 Measurement

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アクセサリ

CA-E Series
CA-E Series

変換アダプタ

DU-103K・DU-102E
DU-103K・DU-102E

表示ユニット

MFT-20
MFT-20

マスフローチェッカ

PE Series
PE Series

専用電源

PE-D10
PE-D10

モニタユニット

PE-D20
PE-D20

制御ユニット

PE-S7
PE-S7

多機能制御ユニット

SC-E Series
SC-E Series

信号ケーブル

SU-503ED・SU-502EA
SU-503ED・SU-502EA

設定ユニット

HORIBAグループ企業情報