SLIA-300

Highly Sensitive Silica Monitor SLIA-300

半導体/FPDプロセス向超純水管理用高感度シリカモニタ

超純水のシリカ分析で実績多数!
コンパクト&高感度な新性能。

半導体/FPDプロセスにおいて製品精度や歩留まりに大きな影響を与える、超純水中のシリカ濃度。その1μg/L(1ppb)オーダーの測定要求に確実にお応えします。デスクトップ型のコンパクトボディで、測定範囲全域における高感度測定を実現しました。高速応答性や自己診断機能など、充実の基本性能と高感度な新性能で、半導体/FPD製造の純水プロセスを力強くサポートします。

 

SILICA

屋内設置自動校正ACフリー電源(100〜240V)

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

高感度で、しかも高い繰り返し性

独自の新開発セルにより、低濃度に対応する高感度化を実現。
高速5分測定で、0~2μg/Lレンジにおいて、フルスケール±2%の繰り返し性を保証しています。

デスクトップ型のコンパクト設計

新開発セルにより画期的なコンパクト設計を実現。デスクトップ型なので小さなスペースをはじめ様々な設置条件に対応可能。移動式としての使用も可能になりました。

試薬の消費量を1/5に削減

改良型反応セルの採用により、試薬の消費量を従来の1/5に低減。試薬のランニングコストを大幅に削減できます。

最大6点までの測定が可能 (オプション)

測定ポイントは1~6点まで任意に設定できます。一台でより多くの多点計測をサポートします。

動作異常を監視する自己診断機能

試料水や試薬の注入、校正異常、セル内温度モニタ、光源異常など動作の異常を自己診断。エラーがあれば警報ランプ表示とともに文字表示でもメッセージを送ります。

交換不要の半永久的光源を採用

光量が安定し寿命の長い単色性の半導体光源を採用。
半永久的な光源として使用できます。

 

形式SLIA-300
測定方式モリブデンブルー吸光光度法
測定範囲0~2/0~20μg/L or 0~5/0~50μg/L(受注時指定)
繰り返し性フルスケールの±2%
測定時間5分
測定周期5~995分任意設定
指示表示・ 測定値(濃度) : 3 1/2桁 7セグメントLCD
・ 状態案内(メッセージ) :16字×4行 ドットマトリックスLCD
測定点数1~6点(受注時指定)
校正機能標準液校正
補正機能ブランク補正、検量線補正(各ライン毎)
使用試薬・ 試薬A : 硫酸+モリブデン酸アンモニウム
・ 試薬B : シュウ酸
・ 試薬C : L(+)-アスコルビン酸
試薬交換周期1週間(弊社推奨期間による)
電源100 - 240V AC 50/60 Hz
最大消費電力約 600VA
設置条件屋内 温度:10~35℃ 湿度:85%以下
試料水条件・ 水温  :15~35℃
・ 供給流量:200~250mL/min(調整可能なこと)
・ 圧力  :0.1~0.5MPa
外形寸法375(H)×580(W)×500(D) mm (突起部を含まず)
質量1点計 約41kg(以降測定点数1点追加に対して1kg増)
外部入出力濃度出力・ 4~20mA DC or 0~16mA DC or 0~1V DC
(受注時指定)
接点出力・ 全ライン共通 : 測定中、同期信号、アラーム(一括)、ヒータ、電源断、校正信号1,2、濃度上限警報orサンプル水断
・ 各ライン毎 : 測定レンジ、サンプル水断or濃度上限警報
  (濃度上限警報およびサンプル水断の一括/ライン毎アラームの選択は受注時指定。また、アラーム内容の選択についても受注時指定。)
接点入力・ 全ライン共通 : 校正開始、 測定開始、 経済運転、ライン選択、 測定低レンジ、 測定高レンジ
シリアル入出力RS-232C
オプションサンプル水加熱ユニット、標準液供給ユニット、試薬調合用器具
認証規格CE, KC, FCC RulesPart15, UKCA

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