TUシステム

テストガス発生システム

テストガス発生システム:TU Seriesは、各種ガスセンサー性能を評価するテストガスの発生システムをはじめ、触媒評価用の模擬ガス発生システム等、お客様のご用途に応じたシステムをご提供しています。バイオ関連では、培養槽内の雰囲気ガス供給システムとしてのご提案を行っています。
システムの構成として、複数台のマスフローコントローラを搭載し、任意濃度のガスを発生、水分を添加する機能や供給ガス圧力の制御機能、加温機能等を装備し、パソコンやPLCを用いた総合的な制御機能を持つシステムをご提案しています。

 

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control System
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.

 

  1. 簡単操作により総合的なテストガスが発生できます。
    • 大型タッチパネルを採用し、簡単操作により高度な各種センサーの性能評価ガスを発生できます。
    • 液体の微量制御を行うマスフローコントローラと専用に気化器を内蔵し、正確な水分添加が行え、テストガスの湿度制御が行えます。
    • 専用の熱交換器や各種センサーの評価チャンバーを内蔵する事により、ワンユニットでセンサー評価が行えます。
    • 制御部にPLCを採用し、発生ガス濃度や時間による濃度変化・発生流量変化等の高度なテストガスが発生できます。
    • 温度センサーやガス漏れセンサー等を搭載し、異常動作を検知するなどの安全機能を搭載できます。
  2. 流量制御技術を応用ベースに、ご用途に応じた評価システムを製作いたします。
    • 都市ガスやプロパンガスを用いる”燃焼機器”の評価システム
    • 雰囲気ガス制御システム
    • 化学触媒性能評価システム 等

 

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