CS-630FD

光ファイバ式薬液濃度モニタ

低濃度薬液の管理に最適。濃度変化をppmレベルで測定する薬液濃度モニタです。

中紫外の波長域を採用し、低濃度領域においても高精度な測定が可能。機能水などのモニタリングに最適で、濃度管理によって安定した低濃度薬液の供給をサポートします。

 

薬液濃度

DC24V伝送出力接点出力RS-232C複数成分低濃度機能性水

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

機能水などの低濃度薬液に最適

低濃度薬液の濃度変化をppmレベルでリアルタイム測定。低濃度NH3や低濃度SC-1といった機能水の効率運用にも貢献します。

中紫外波長域で測定

従来の濃度計の波長域では測定が困難でも、中紫外領域によって測定できる成分があります※。※詳細はお問合せください

最大6薬液種（薬液またはレンジ）に対応

1台のモニターで最大6薬液種（薬液またはレンジ）の測定が可能です。測りたい薬液種やレンジを自由に指定できるので、測定ニーズに幅広く対応します。

レイアウトフリー

光源ユニットとモニター本体を分離設置が可能なので、薬液供給ユニットや洗浄装置の設置スペースに合わせた自由な配置が可能です

製品名光ファイバ式薬液濃度モニタ
型式名CS-630FD
測定原理吸収分光法
濃度算出原理多変量解析法
測定対象※低濃度SC-1溶液（アンモニア過酸化水素水溶液）
測定範囲・再現性精度※成分名測定範囲
（ppm）		再現性精度
（ppm）		アナログ出力範囲
（ppm）
NH30.0-30.0±5.00.0-30.0
H2O20.0-100.0±5.00.0-100.0
測定条件測定間隔：3 秒
移動平均：16 回
計装エア
（オペレーション、パージ兼用）		取合：外径4 mm クイック継ぎ手
圧力：0.2 ±0.02 MPa
電源100 ～ 240 V AC（Single-Phase）、50/60 Hz
消費電力約85 VA（起動時の過渡的電流は除く）
通信取り合いパラレルI/O、RS-232C、アナログ出力
外形寸法（モニタ本体） 200 （W）× 313 （D）× 78 （H） mm（突起部除く）
（光源ユニット） 290 （W）× 340 （D）× 100 （H） mm（突起部除く）
（サンプルセル） 145 （W）× 157 （D）× 137 （H） mm（突起部除く）
質量（モニタ本体） 約 3.6 kg
（光源ユニット） 約 4.9 kg
（サンプルセル） 約 1.2 kg
設置温度（モニタ本体、光源ユニット共通）20 ～ 30℃
（光ファイバ）20 ～ 35℃
（急激な室温変化なきこと、±1℃以内/1 時間）
設置相対湿度（モニタ本体、光源ユニット共通）40 ～ 70 %RH（結露なきこと）
設置傾き角度（モニタ本体、光源ユニット共通）±1°以内
光ファイバ標準長さ2 m、最小曲げ半径100 mm

※その他の測定対象・測定レンジについてはお問い合わせください

Size: 1.13 MB
〈カタログ〉光ファイバ式 薬液濃度モニタ CS-630FD

お問い合わせ

* 項目は必ずご記入ください。