CS-700

High Precision, High Stability Chemical Concentration Monitor CS-700

薬液濃度モニター

半導体製造工程で使用される混合液の各成分濃度を高精度に測定可能な薬液濃度モニターです。

商標薬液をはじめ、多成分薬液のコントロールに最適です。半導体製造工程の品質管理の強化や薬液管理の精度向上に貢献します。

 

薬液濃度

DC24V伝送出力接点出力RS-232C多成分

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

多成分薬液に対応

最大8成分の混合薬液の高精度測定が可能です。

必要試薬ゼロ

成分分離は試薬を用いない光学式の測定方法となっているため、生産プロセスのコスト削減にも貢献します。

 

 

測定範囲と再現性精度

Unit : mass%

 成分名測定範囲再現性精度
第1薬液HNO330.0 - 34.0±0.5
HF2.00 - 4.00±0.10
H3PO435.0 - 39.0±0.6
H2SiF60.00 - 3.00±0.50
H2O25.0 - 33.0±1.0

測定条件
1) 測定間隔:約8秒
2) 移動平均回数:10回
3) 薬液温度変化、周囲温度変化:±1℃以内/1時間、急激な温度変化なきこと
4) 薬液温度範囲:20〜30℃

  • 再現性精度は平均値からの最大誤差(1時間)で規定しています。
  • アナログ出力は上表の値に対して4 〜 20 mAが割り当てられています。(最大負荷抵抗500Ω)

 

従来機とのスペック比較

itemCS-100CS-700
Measurement principleAbsorption spectroscopic methodAbsorption spectroscopic method
Sample temperature20 to 30 Degree C20 to 30 Degree C
Ambient temperature20 to 25 Degree C20 to 30 Degree C
ComponentsMax. 4 componentsMax. 8 components
Chemical rangeMax. 4 rangesMax. 6 ranges
CommunicationParallel I/O, Analog output, RS-232CParallel I/O, Analog output, RS-232C
Analog output
(4-20 mA)
Max. 2 componentsMax. 6 components
Dimension205(W) X 329(D) X 269(H)mm218(W) X 391(D) X 213(H)mm
Power sourceDC 24VDC 24V(Same connecter of CS-100)
Consumable partsHalogen lampHalogen lamp (Same as CS-100 type)
WavelengthUV/NIRUV/NIR
Wetted materialPTFE, PFA, Sapphire or Quartz,PTFE, PFA, Sapphire,
Kalrez 4079 O-ring

 

外形寸法図・他(単位:mm)

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