D700MG

高响应压力非敏感质量流量器

关键的半导体制造过程不断要求精确的气体流量控制设备,以实现未来的创新,以及领先的存储和逻辑设备的实验室到工厂的过渡。HORIBA公司提出了新的基于压力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型号,以支持客户的挑战。

事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.

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  • 工具上气体和全尺寸配置更改 *仅 EtherCAT 

    • 为流程优化提供灵活性

  • 100 ms 响应速度和mfc到mfc的偏差控制

    • 提供高生产力和更大的过程性能

  • 小流量 MRMG 功能(Bin101 - Bin105)

    • 为需要小流量的工艺提供灵活性

  • PFA 喷嘴具有更好的阀门关闭和耐腐蚀性能

    • 稳定性性和较小的颗粒风险,减少停机时间和优化产量

  • 状态监控功能

    • 为更智能的故障预测提供更多的内部数据

状态监控功能的输出项

流量/压力调零计数

阀门驱动计数

记录最大/最小P0,P1,P2压力

最大/最小块温度记录

总时间超过/低于压力规格

总时间超过/低于温度规格

总工作时间

总控制时间

总流动时间(每个校准实例)

总流量(每个校准实例)

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*1 流量精度可低至2 SCCM,因此实际气体低于2 SCCM以下不保证精度。
*2 在25℃和≤ 1.0 × 10-3 Pa (A)条件下的保证值。
*3 设定时间为 MFC 输出信号和 N2 气体。其他细节定义遵循“SEMI标准 E17-1011章节 4.1.4”的设定时间。
*4 压力扰动必须小于 20% 的压力变化/秒和 ±70 kPa/秒(±10 PSI/秒)。
*5 EtherCAT® 是注册商标和专利技术,由德国 Beckhoff Automation GmbH 授权。

*1 Bin#14-15 的流量精度和重复性只保证 N2 校准气体。
*2 在 25℃ 和≤1.0 × 10-3 pa (A) 条件下的保证值。
*3 设定时间为 MFC 输出信号和 N2 气体。其他细节定义遵循“SEMI 标准 E17-1011章节 4.1.4”的设定时间。
*4 压力扰动必须小于 20% 的压力变化/秒和 ±70 kPa/秒(±10 PSI/秒)。
*5 EtherCAT® 是注册商标和专利技术,由德国 Beckhoff Automation GmbH 授权。

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