光伏制造过程的过程控制与现场测量
外形尺寸
SEC-8000 F/D/E 系列
高温数字式质量流量控制器
SEC-8000F/D/E 系列可在 15℃ 至 120℃ 的高温环境下工作，用于半导体和化合物半导体加工在内的各种工作任务。
点击此处查看 MFC 对比图。
- 配备数字设备：高精度 - ±1.0% 设定点
- 高速响应
- 超洁净设计
- 符合 RoHS 标准
气体质量流量控制与测量和对 PM2.5 参考值的测量
光纤制造工艺
用于实验室研究测试气体生成
高温数字式质量流量控制器
SEC-8000F/D/E 系列可在 15℃ 至 120℃ 的高温环境下工作，用于半导体和化合物半导体加工在内的各种工作任务。
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Control Unit
Conversion Adapters
Dedicated power sources
Display Unit
Mass Flow Checker
Monitor Unit
Setting Units
排气压力控制器
基于光发射光谱和 MWL 干涉测量法的工艺终点/反应腔健康监测
光发射光谱蚀刻终点监测仪
痕量气体分析仪
大流量液体源汽化控制系统
数字式液体质量流量计/控制器
紧凑型加热汽化
自动供液系统
POCl3 自动供液系统
混合注入系统液体汽化器
MU 系列混合气体发生器
混合注入系统液体汽化器
压电阀
高温数字式质量流量控制器
质量流量控制器
数字式质量流量控制器
多量程/多气体数字质量流量控制器
试验气体生成系统
数字式自动压力调节器
直接液体注入系统
定容取样
高响应压力非敏感质量流量器
宽范围压敏质量流量计
紧凑型质量流量控制器
超声波尾气流量计
热式气体分流器
Hydrogen Fuel Flow Meter
大流量液体源汽化控制系统
数字式液体质量流量计/控制器
紧凑型加热汽化
自动供液系统
POCl3 自动供液系统
混合注入系统液体汽化器
混合注入系统液体汽化器
皮托管流量计
双路皮托管流量计
质量流量控制器
高温数字式质量流量控制器
质量流量控制器
数字式质量流量控制器
多量程/多气体数字质量流量控制器
新型压力补偿质量流量控制器
压力补偿质量流量控制器
直接液体注入系统
压差式质量流量控制器
高响应压力非敏感质量流量器
宽范围压敏质量流量计
热式气体分流器
数字式液体质量流量计/控制器
质量流量控制器
高温数字式质量流量控制器
质量流量控制器
数字式质量流量控制器
多量程/多气体数字质量流量控制器
新型压力补偿质量流量控制器
压力补偿质量流量控制器
