光伏制造过程的过程控制与现场测量
外形尺寸
SEC-8000 F/D/E 系列
高温数字式质量流量控制器
SEC-8000F/D/E 系列可在 15℃ 至 120℃ 的高温环境下工作，用于半导体和化合物半导体加工在内的各种工作任务。
点击此处查看 MFC 对比图。
- 配备数字设备：高精度 - ±1.0% 设定点
- 高速响应
- 超洁净设计
- 符合 RoHS 标准
气体质量流量控制与测量和对 PM2.5 参考值的测量
光纤制造工艺
用于实验室研究测试气体生成
高温数字式质量流量控制器
SEC-8000F/D/E 系列可在 15℃ 至 120℃ 的高温环境下工作，用于半导体和化合物半导体加工在内的各种工作任务。
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Control Unit
Conversion Adapters
Dedicated power sources
Display Unit
Mass Flow Checker
Monitor Unit
Setting Units
排气压力控制器
基于光发射光谱和 MWL 干涉测量法的工艺终点/反应腔健康监测
光发射光谱蚀刻终点监测仪
痕量气体分析仪
大流量液体源汽化控制系统
数字式液体质量流量计/控制器
紧凑型加热汽化
自动供液系统
混合注入系统液体汽化器
MU 系列混合气体发生器
混合注入系统液体汽化器
压电阀
高温数字式质量流量控制器
质量流量控制器
数字式质量流量控制器
多量程/多气体数字质量流量控制器
试验气体生成系统
数字式自动压力调节器
直接液体注入系统
定容取样
高响应压力非敏感质量流量器
Best Performance Pressure Insensitive Mass Flow Module
Micro Flow Pressure Insensitive Mass Flow Module
宽范围压敏质量流量计
紧凑型质量流量控制器
超声波尾气流量计
热式气体分流器
氢耗仪
大流量液体源汽化控制系统
数字式液体质量流量计/控制器
紧凑型加热汽化
自动供液系统
混合注入系统液体汽化器
混合注入系统液体汽化器
皮托管流量计
双路皮托管流量计
高温数字式质量流量控制器
质量流量控制器
数字式质量流量控制器
多量程/多气体数字质量流量控制器
新型压力补偿质量流量控制器
压力补偿质量流量控制器
直接液体注入系统
压差式质量流量控制器
Function Control Unit with Mass Flow Controllers
Automatic Span Gas Unit for Parallel calibration
Automatic Span Gas Unit for Serial calibration
Automatic Span Gas Unit Transferstandard
Automatic Span Gas Generator Unit for Quality control at field test
高响应压力非敏感质量流量器
Best Performance Pressure Insensitive Mass Flow Module
Micro Flow Pressure Insensitive Mass Flow Module
宽范围压敏质量流量计
热式气体分流器
数字式液体质量流量计/控制器
高温数字式质量流量控制器
质量流量控制器
数字式质量流量控制器
多量程/多气体数字质量流量控制器
新型压力补偿质量流量控制器
压力补偿质量流量控制器
