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高温数字式质量流量控制器
SEC-8000F/D/E 系列可在 15℃ 至 120℃ 的高温环境下工作,用于半导体和化合物半导体加工在内的各种工作任务。
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Control Unit
Conversion Adapters
Dedicated power sources
Display Unit
Mass Flow Checker
Monitor Unit
Setting Units