Analyse von Halbleiter-Wafern

HORIBA Scientific bietet neue großflächige Probentische an, die sich für Messungen und Mappings von bis zu 20cm großen Halbleiter-Wafern eignen.

Erhältlich sind manuelle und motorisierte Tische für Standard- und Reinraum-Bedingungen. Die Tische garantieren exakte und stabile Positionierung von großflächigen Wafern und ähnlichen Proben, die bisher schwierig zu untersuchen waren.

Mit den motorisierten Varianten sind auch großflächige Mappings möglich, die besonders für PL- und Raman-Analysen von kompletten Halbleiter-Wafern interessant sind.

Die großflächigen Tische eignen sich besonders zum Einsatz mit LabRAM-Systemen oder Raman/PL-Mikroskopen, die entweder mit einem FSM-Mikroskop oder mit zwei Mikroskopen ausgestattet sind.