GA-370

CO, CO2, CH4 Spurengas Analysator

Zur Überwachung der Qualitätskontrolle von hergestellten Reingasen in Luftzerlegungs- und Halbleiteranlagen

Der HORIBA GA-370 Analysator bietet eine konstante, ultrahochempfindliche und hochpräzise Überwachung von Spurenverunreinigungen (CO, CO2 und CH4) für die Qualitätskontrolle in Gasherstellungsanlagen.

Ultrahochempfindliche Messungen

  • Ein nicht-dispersiver Infrarot-Analysator (NDIR) mit Querstrommodulation bietet eine kontinuierliche und stabile Nullpunktdrift-freie Messungen an
  • Minimale Nachweisgrenze (MDL) von 10 ppb, die Anwendungen unterstützen kann, bei denen hochgenaue Messungen erforderlich sind.

 

Messung von Spurenverunreinigungen in einem Ausgleichsgas

  • Repräsentative Gase wie N2, O2, He, Ar, H2 und Luft werden unterstützt.

 

Einfacher wartungsfreier Betrieb

  • Bedienerfreundliche Bildschirmmenüs vereinfachen den Betrieb, die Kalibrierung und die Messungen des Analysators
  • Keine optische Ausrichtung erforderlich.
  • Ein Touch-Farb-LCD-Display ermöglicht es dem Bediener, Diagramme der gesammelten Daten anzuzeigen.

 

Typische Anwendung

Industriegase wie Sauerstoff und Stickstoff werden von einer Luftzerlegungsanlage hergestellt.

Zuerst wird aus der Luft, die Feuchtigkeit (H2O) und das Kohlendioxid (CO2) entfernt um in weiterer Folge Stickstoff (N2), Argon (Ar) und Sauerstoff (O2) herzustellen. Das Trennverfahren basiert auf Unterschieden der Siedepunkte jedes der Gasbestandteile. In ähnlicher Weise stellen Luftzerlegungsanlagen auch andere seltene oder inerte Gase wie Wasserstoff (H2) und Helium (He) her.

Der HORIBA GA-370 Spurengasmonitor ist ein nützliches Werkzeug zum Messen von Verunreinigungen, die im abgeschiedenen Gas zu Zwecken der Qualitätskontrolle enthalten sein können.

Messprinzip

Nicht-dispersiver Infrarot-Analysator mit Cross-Flow-Modulation

Der Spurengasanalysator GA-370 verwendet einen Infrarotstrahl, der die Zelle des Detektors durchdringt. Während der Messung leitet ein Magnetventil das Messgas und das Referenzgas abwechselnd zu den Zellen innerhalb des Analysators.

Das Vorhandensein von CO, CO2 und/oder CH4 in dem Probengas erzeugt einen Unterschied in der Intensität des Lichts, das den Detektor erreicht, wenn die Küvette mit Probengas gefüllt ist, im Vergleich zu der, wenn die Küvette mit dem Referenzgas gefüllt ist. Die Unterschiede in der Absorption des Lichts der beiden Gase durch den Detektor führen zu einer Auslenkung der Membran des Detektors zu Schwingungen. Dieses Messverfahren macht einen optischen Zerhacker oder optische Einstellungen überflüssig, da es die Drift eliminiert und die Empfindlichkeit erhöht.

Monitoring of Impurity in Hydrogen Gas for FCV

Model

 

GA-370

Gemessene Gas

 

CO, CO2, CH4

Bulk Gas

 

N2, O2, He, Ar, H2, Air

Anzahl der Messkomponenten

 

1 oder 2 Komponenten (ain messendes Ausgleichsgas angeben)

Messprinzip

 

Cross-Flow-Modulation, nichtdispersives Infrarot (NDIR)-Absorptionsverfahren

Messbereich

 

0 to 1/2/5/10 ppm

Nachweisgrenze (2σ)

 

10 ppb

Reproduzierbarkeit

 

± 2% vom Messbereich Endwert

Indication error

 

≤ ± 2% vom Messbereich Endwert

Nullpunkt Drift

 

≤ ± 0.02 ppm/Tag, ≤ ± 0.03 ppm/Woche

Prüfpunkt Drift

 

≤ ± 2% vom Messbereich Endwert /Tag,
 ≤ ± 2% vom Messbereich Endwert /Woche

Einstellzeit (T90)

 

≤ 180s

Gasdurchfluss Messgas

 

ca. 3,5L/min, Referenzgas: ca. 3,5L/min, Prüfgas: ca. 3,5 l / min

Hinweis: Für Proben- und Referenzgas wird ein Abgabedruck von 50-100 kPa empfohlen.

Analogausgang

 

Analogausgang max. 2 Kanäle isolierter Ausgang (2 Komponenten)

Wählen Sie eine von 0 bis 1 V, 0 bis 10 V, 0 bis 16 mA, 4 bis 20 mA oder 0 bis 20 mA.

Stromausgang: Zulässiger Lastwiderstand 750Ω oder weniger

Einbaubedinungen

Umgebungstemperatur

0 bis 40°C

Relative Luftfeuchtigkeit

≤85%

Staub

Weniger als Umweltstandard

Vibration

≤ 0.29m/s², at ≤ 100Hz

Gehäuse, Gewicht

 

430(B) x 221(H) x 555(T) mm (ohne Vorsprünge), ca. 18kg

Stromversorgung

 

240VAC, ≤ ± 10% (max. Spannung: 250V AC)

Leistung

 

ca. 100VA

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