隔膜真空計とは

 

ダイアフラムの両側に圧力差を加えた時に生じる膜の変形から圧力(全圧)を知る真空計です。
ダイアフラムに受ける圧力を測定しているため、気体の種類による感度の差がありません。

測定原理

真空計はダイアフラムによって基準室と測定室に分けられ、基準室内は固定された電極が設置されており、真空に維持されています。
測定室の圧力が変化することにより、ダイアフラムがたわみます。
電極とダイアフラムの距離が変化することにより、これらの間に発生する静電容量も変化します。この静電容量の変化を計測し、圧力値に換算することにより、測定室内の圧力値を測定します。


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