温度が上昇すると、物質は固体から液体に、液体から気体にと状態が変化します。気体に熱や電気エネルギーを加えると、気体の分子が解離して原子になり、さらに温度が上昇すると原子核のまわりを回っていた電子が原子から離れ、(この現象を「電離」といいます)中性分子とプラスイオン、マイナスイオンが混在した非常に活性化した状態になります。これが物質の第4の状態とも言われる「プラズマ」です。
身近なところでいえば各種ライト、炎や雷もプラズマであり、宇宙空間の99%以上がプラズマであるといえます。
このように、プラズマとは我々の生活とは切り離せない存在なのです。
プラズマは他の状態にくらべ、非常に反応性が高くなっている状態です。この特性を活かして、プラズマは様々な産業に活用されています。
例えば、ナノメートル(10億分の1メートル)単位の穴や溝を掘ることや、膜をつけることに適しています。反応性の高い状態のメリットとして、各種の処理を素早く進めることができ、半導体集積回路の生産工程で多用されています。半導体以外にも微細加工、薄膜合成、表面改質、除害、殺菌・滅菌・消毒など産業の各分野で活用されています。
堀場エステックではプラズマのコンディション変動を発光の変化として捉え、最適な条件をモニタすることで歩留まり向上、品質向上を達成することができます。
プラズマ発光モニタEV-140Cはエッチングガスや副生成物由来のプラズマ発光をモニタすることにより、その変化からエッチングのエンドポイントをリアルタイムに検出することが可能です。また多彩なソフトウェアを組み合わせて使用することで....
