プラズマとは

製品情報:プラズマ発光モニタ
製品情報:プラズマエミッションコントローラ
プラズマ分析:プラズマ発光モニタ EV-140C

 温度が上昇すると、物質は固体から液体に、液体から気体にと状態が変化します。気体に熱や電気エネルギーを加えると、気体の分子が解離して原子になり、さらに温度が上昇すると原子核のまわりを回っていた電子が原子から離れ、(この現象を「電離」といいます)中性分子とプラスイオン、マイナスイオンが混在した非常に活性化した状態になります。これが物質の第4の状態とも言われる「プラズマ」です。
 身近なところでいえば各種ライト、炎や雷もプラズマであり、宇宙空間の99%以上がプラズマであるといえます。
このように、プラズマとは我々の生活とは切り離せない存在なのです。

プラズマのコンディション管理についてお悩みではないでしょうか?

プラズマ発光モニタEV-140Cはエッチングガスや副生成物由来のプラズマ発光をモニタすることにより、その変化からエッチングのエンドポイントを…

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