EV-140C Series

Optical Emission Spectroscopy Etching End-point Monitor EV-140C

プラズマ発光モニタ

プラズマを利用した半導体薄膜プロセスにおいて、エンドポイントの検出またはプラズマのコンディション管理を行うための、発光分析方式のエンドポイントモニタです。
新開発のアルゴリズム“Rupture Intensity”により微弱な信号変化から的確にエンドポイントを検出できます。
微弱な発光変化を捉えるため、感度を大幅に改善。
またノイズ耐性を向上させることにより、24時間稼動する製造ラインの過酷な環境化で高い安定動作を確保します。

製造元：株式会社堀場製作所

事業セグメント: 半導体

製品分類: Dry Process Control

製造会社: HORIBA, Ltd.

開口比 F/2の明るいグレーティングを採用
2048Ch 高感度高分解能裏面入射型CCD ラインセンサ搭載
高度なプロセスコントロールを実現するソフトウェア Sigma-P

デモンストレーションをご希望されるお客様へ

弊社ではお客様のシステムとマッチし安心してご採用いただく目的にEV-140C一式をお貸出いたします。
お手数ですが、下記のアイコンをクリック頂き必要事項を入力してください。
弊社担当者より、ご希望日や必要なシステムなどのご確認をさせていただきます。

●センサ部

分光器
波長範囲	200-800nm
光学分解能	<2.0nm @λ=200-500nm <2.5nm @λ=500-700nm (FWHM理論分解

光学ベンチ
デザイン	フラットフィールド収差補正型ポリクロメータ
焦点距離	140mm
高次光カットフィルター	内蔵

検出器
CCDタイプ	裏面入射型CCDリニアイメージセンサ
素子数	2048 × 64
A/D分解能	16ビット
露光時間制御	20mSec〜2.5Sec (10mSec ステップの設定)

一般仕様
測定光入力	光ファイバ入力
センサユニットサイズ	137(W)×156(H)×257(D)mm
センサ部質量	4.0kg
接続チャンバ数	1ch
電源仕様	DC24V±10%
消費電力	12VA
動作環境温度	15-35℃
保存環境温度	0-50℃(結露なきこと)
動作/保存湿度	<80%RH@25℃(結露なきこと)
LCD表示	実行ステータス/センサーエラー/コントローラーエラー
冷却ファン	DCファン

入出力
◎アナログ出力(レシピに従った演算結果をリアルタイム出力します。)
出力ポート数	2チャンネル
電圧出力	0-5VDC
◎デジタル出入力(外部リモートプロトコルによるレシピ設定およびエンドポイント出力を行います)
デジタル出力	PIO/DI=8Bit/DO=8Bit
外部汎用コネクタ	Dsub25S (パラレルIOポート、アナログ出力用)
コントローラインターフェース	Erthanet ×1ポート

●コントローラ(FAスペックコンピュータ)

サイズ	197(W)×148(H)×250(D)mm
OS	WindowsXP embeded(英語版)
CPU	Celeron 1.3GHz
メインメモリ	1GB
ハードディスク	80GB
外部インターフェース	・Ethernet×2 ・RS-232C×2
電源仕様	AC90-264V 50/60±3Hz

●外部リモートプロトコル

リモートプロトコル	パラレルI/O/RS232Cシリアルプロトコル＊LAN接続については別途対応

●認証

準拠規格	CE/FCC

●アクセサリ

光ファイバ
ファイバ仕様	合成石英ファイバ
外部ファイバグレード	VIS用/紫外光耐光用(2種類から選択)
ファイバ長	2m/5m (2種類から選択)