HORIBAは、燃料電池生産における評価装置に使用されるガス・液体用流量制御機器、液体材料気化システムなど幅広い製品ラインナップをご用意しております。
また、各種計測・制御機器を組み合わせ、各種テストガス発生システムのご提案も行っております。
製品名をクリックすると、関連製品モデル一覧をご覧いただけます。
多様な通信方式と、ワイドな流量制御範囲を誇る汎用モデル。
差圧検出方式を採用した最先端プロセス向け高性能マスフローモジュール。自己診断機能を搭載。
15℃から120℃までの高温環境対応のデジタルマスフローコントローラ
気液混合気化方式を採用した小型液体材料気化システム。液体材料の高効率気化を実現。
ノンキャリアタイプのコンパクト液体材料気化システム。TEOS気化システムのベストセラーモデル。
液体材料の気化システムのベストセラーモデル。半導体や光ファイバー生産設備をはじめ、幅広い生産設備に採用されています。
液体材料を｢安全に」「無駄なく」「迅速に」液体材料気化システムへ自動供給できるオートレフィルシステム
HORIBA POCl3自動供給装置は、高い生産性、コスト削減、プロセス安定性、高い安全性、信頼性を実現しています。
冷却測定方式の流量センサを搭載した高精度液体デジタルマスフローコントローラ＆メータ。マイクロリッターからの微少流量制御が可能。
