プレッシャコントローラ

ガス供給ライン中の圧力を高精度にコントロールするプレッシャコントローラ(圧力制御機器)をご覧いただけます。高性能圧力センサと高分解能ピエゾバルブ、デジタル制御機能を搭載したラインレギュレータや、ウェハ裏面の温度制御に欠かせないヘリウムガスやアルゴンガスなどの伝熱性ガスの圧力制御機器、 腐食性ガスに対応した排気圧コントローラ等をラインナップしています。

オートプレッシャレギュレータ

デジタルオートプレッシャレギュレータ UR-Z700 Series

高精度圧力センサ、高分解能・高速応答のピエゾバルブを搭載したデジタルプレッシャレギュレータ。デジタル/アナログ通信モデル、デバイスネット通信モデルをラインナップ。

ピエゾバルブ

ピエゾバルブ PV Series

メタルダイヤフラム、メタルO-リングを内蔵した高速応答ピエゾアクチュエータ―バルブ

排気圧コントローラ

排気圧コントローラ EC Series

高分解能なステッピングモーターと独自構造のバタフライバルブにより高速応答・高分解能制御を実現した排気圧コントローラ

ウェハ裏面冷却システム

ウェハ裏面圧力制御システム GR-300 Series

ウェハ裏面の温度制御に不可欠なガスの圧力制御に最適。ピエゾアクチュエーターバルブを搭載し、高安定性・高精度を実現しています。

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。尚、製品によりましては代理店をご紹介させていただくことがございます。

お電話でも製品の技術的なご質問や仕様のご相談を承ります。

株式会社堀場エステック
営業本部

075-693-2312