F-CLUE

カソードルミネッセンス(CL)測定装置

F-CLUEは、CLイメージングと分光分析に対応する高機能なインターフェースです。光ファイバーカップリングにより、CL集光部と分光部、検出部を分離することができ、電子顕微鏡への負荷を軽減し、構成の自由度の高いCLアドオンソリューションを実現します。

省スペース設計のため、他の検出器と干渉せずに電子顕微鏡に装着できます。コンパクトなCL集光インターフェースを収納でき、電子顕微鏡の性能を制限しにくい設計です。ビデオアシスト機能により、ミラーの集光率を最適化し、高いパフォーマンスと再現性をサポートします。搭載するソフトウェアLabSpec 6は、ピークフィット、粒子解析、モザイク、多変量解析、多彩な3D表示など、多彩な機能でデータ解析をサポートします。

事業セグメント: 科学
製造会社: HORIBA, Ltd.HORIBA France SAS

ファイバカップリングCLアドオン検出器の特長

  • 小型マルチCL検出器、CLイメージングおよび分光器
  • iHR320:1入力2出力ポート、2㎜又は7 mmスリット
  • PMT 185 - 900 nm、内蔵HV、CLLinkコントローラ
  • 電子冷却オープンエレクロードCCD検出器(200 - 1100nm)
  • LabSpec 6ソフトウェアによる装置制御、測定、データ処理
  • 精密な位置決め調整が可能な調整機構

 

スペクトル範囲UV-VISまたはVIS-NIRファイバーに依存
ダイヤモンド回転式コレクションミラー楕円形ミラー
ショート&ロングワーキングディスタンス
200mm リトラクタブルインターフェース真空下での手動調整

CL画像検出器

標準:アンビエントPMT搭載のパンクロマチックおよびモノクロマチックCL
オプション:冷却型PMT、IGAモノチャンネル、フォトンカウンティングPMT、時間分解型PMT、RGBフィルター
CL分光器タイプmicroHR(180mm)またはiHR 320(320mm焦点距離)、最大3つのグレーティングタレット、最大2入口/2出口
可能なアップグレードPL、MicOSシステムからのアップグレード
電子ビーム制御CL-LINKによる複数データ取得処理(アナログ、パルスモード、SE)、マッピングラインスキャン、ポイント計測、分光検出との同期、電子顕微鏡の外部スキャン入力制御
点測定、分光検出との同期、電子顕微鏡の外部スキャン入力による制御など

ソフトウェア

LabSpec 6™ による分光と画像処理
リモートコントローラーオプション
CLUE アクセサリー偏光、NDフィルター、カメラ、EMCCDなど
SEM アクセサリーLN2、Heクライオステージ、EBIC検出器、およびCLUEシリーズアドオン検出器を補完するその他の多くのアクセサリ
Defect Evaluation of GaN Epitaxial Wafer by CL
Defect Evaluation of GaN Epitaxial Wafer by CL
The threading dislocation occurs easily in GaN crystal grown on sapphire substrates. It is said that this is caused by the large lattice mismatch of sapphire and GaN. The crystal may seem to be uniform in the SEM image, but the dark spot such as the threading dislocation can be observed when measuring the CL intensity image at the wavelength (362nm) which corresponds to the band edge emission.
Luminescent Defects in Synthetic CVD Diamond Films Localized by Cathodoluminescence Spectroscopy
Luminescent Defects in Synthetic CVD Diamond Films Localized by Cathodoluminescence Spectroscopy
The characterization of synthetic CVD diamond material by hyperspectral cathodoluminescence spectroscopy and imaging allows the detection and accurate location of the promising NV luminescent point defects for innovative solid-state quantum mechanical systems. In this work we performed CVD epitaxial growth on a pattern of micro-pillars etched on a diamond substrate. Cathodoluminescence (CL) analysis revealed that NV centres were successfully localized at the edges of the pillars.
The Evaluation of Phosphor for White LEDs by CL Image
The Evaluation of Phosphor for White LEDs by CL Image
Phosphor plays a key role to obtain white light as for blue LED + phosphor and near ultraviolet LED + phosphors. In order to improve high bright white LEDs, it is necessary that the whole phosphor particle emits light homogeneously. When measuring with CL the phosphor used as white LED, the area which does not emit light in phosphor particle can be observed. CL system is used for evaluation of non-luminescent area to improve luminescent efficiency and characteristics.

お問い合わせ

* 項目は必ずご記入ください。

HORIBAグループ企業情報