• 高感度・高速マッピング － 分析時間短縮に貢献

強度を損なわず微小なスポットでも高速マッピングが可能です。また、高輝度であるため、ノイズの少ない鮮明なマッピング像が取得できます。

• 広範囲の光学像をクリアに撮れる

選択したエリアを自動で分割し、高精細画像を収集します。

• 新イメージング技術 － 充実の画像解析ソフト

ピーク分離マップや特定元素の強調表示、画像重ね合わせなど画像解析ツールが充実しています。画像処理による強調表示を活用すれば異物を迅速に検出できます。高輝度X線とイメージング技術の組み合わせで一連の異物分析をこれ一台で完結でき、数十μｍサイズまでの異物分析が可能となりました。

• 世界初^※！B（ホウ素）からの分析が可能に（対応機種：XGT-9000 Expert）

_{※ 2022 年8 月現在、卓上型のエネルギー分散型蛍光X 線分析装置において}

従来は複数の装置を用いざるを得なかった酸化物や窒化物、有機物などの分析も1台で完結できます。金属やセラミックはもちろんのこと、燃料電池の高分子膜、食品に混入した樹脂を含む異物も高感度に分析できます。また、含水試料・含油試料中の軽元素測定も可能です。

• バラエティ豊かなX 線プローブ－ 試料に合わせた分析

試料のサイズに合わせて最適なプローブを選択できます。適切なプローブを用いることで、微小部位の高分解能分析や試料表面の高速分析を可能にします。

アプリケーション

• 電池：セパレータフィルム上の異物

異物の検出・元素組成分析を行うことで、異物の発生源を推定できます。目視では確認できない埋没した異物や微小異物も高輝度X線とイメージング技術で検出可能になります。また、粒子検出機能により、粒子数や粒子サイズを求めたり、取得した粒子の座標位置から詳細分析を行うこともできます。

• 生体試料：元素分布測定

生体試料研究において重要な元素分布情報を取得できます。試料内に水分やガスを保持した生体試料は、真空環境下でX線による測定ができませんが、XGT独自の部分真空モードを使用することで、水分やガスを含む試料も測定が可能です。さらに、ヘリウムパージ※を用いることにより、生体試料でも軽元素分析が可能です。
※ヘリウムパージオプション搭載時

• 金属材料：腐食・汚染部位の表面解析

材料分析において重要な元素分布情報を、非破壊で取得できます。SEM-EDXとは異なり、前処理不要で大きな試料をそのまま分析でき、カーボンや金属コーティング処理をしていない非導電性試料の分析も可能です。酸素の検出^※が可能なため、腐食かどうかの判別ができます。※軽元素検出オプション搭載時

軽元素検出オプションを搭載することで、酸素（O）の検出が可能です。

• 電子部品：故障解析、RoHS 指令

蛍光X線像と透過X線像を同時に取得することで、故障原因となる電子部品内部の欠陥や異物を発見できます。また、RoHS指令対象物質のスクリーニング用途として、規制元素の定性・定量が可能で、専用ソフトウェアを用いることで有害元素の合否判定結果も表示できます。

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