堀場エステックだからできること

ご提案するベーキング方式や直接気化方式はいずれも、液体材料の流量をマスフローコントローラで正確に制御します。これにより、発生部での繊細な温度や圧力制御は不要。キャリアガスとの混合により希釈し、お客様が必要とされる濃度の気化ガスを発生することができます。

液体材料とキャリアガスの流量変化により濃度を制御。温度や圧力による制御と比べて、濃度変更のレスポンスに優れています。

流量制御機器は、半導体プロセスで数多くの実績がある自社製マスフローコントローラを採用。お客様の使用条件に最適な機器をチューンナップします。

HORIBA STECで設計した熱交換効率の高い気化器やタンクの搭載で、システムの小型化が可能。
ベーキング気化用のタンクは、内部の液温を均一に制御することで、小型タンクから大流量の気化が行えます。

繊細な温度制御や圧力制御が不要なので、システム構成がシンプルになり、コンパクト化を実現します。

長時間の連続発生を実現するには、発生中に液体材料の供給が必要です。HORIBA STECは、供給する液体材料の圧力や温度を精密に制御し、安定した連続発生を実現します。
ベーキング方式の場合、気化タンク内の液温が変動しないように、液温を制御し供給。直接気化方式は最適圧力に制御し液供給を行います。

気化システムへの液体材料の供給には液体材料自動供給システム（LUシリーズ）を製品化しています。
毒性や可燃性のある材料の使用には、高い安全性が求められています。LUシリーズはソースタンク交換時の安全性を高めるため、配管内に残留する材料を除去し、確認するセーフティ機能を標準搭載しています。

LUシリーズはソースタンクの交換時も気化システムへ液体材料を連続供給します。ソースタンク交換時にはサブタンク内の液体材料を供給します。

気化システムのアプリケーション例