赤外線計測

赤外線吸収を利用したガス分析技術で安定した濃度測定を可能にし、チャンバークリーニングの時間の最適化やガス使用量の削減に貢献します。

HORIBAが独自に開発した赤外レーザ吸収変調方式「IRLAM™」により、他の成分ガスの干渉影響を受けやすいガスもリアルタイムでモニタリングでき、ppbレベルの低濃度を高感度に、かつ、高速な計測を可能にします。

赤外線を利用して対象物の表面温度を非接触かつ高精度に計測します。