XGT-5000시리즈 X선 분석현미경

개요

호리바의 독자적인 x ray guide tube를 사용하여 10um 에서 1.2mm까지의 탁상형 XRF를 실현하였습니다.
이 설비는 sample의 전처리나 진공이 아닌 일반 대기압에서 직접측정이 가능하며 집적 software를 통한 sample의 이동, 정성 및 정량분석은 물론, mapping 등의 다양한 분석을 실현하였습니다.
Sample를 chamber에 설정하고 시작의 click과 함께 분석에 따른 여러 정보를 얻을수 있습니다.
Sample은 guide tube와 광학상이 동축으로 위치적오차를 최소화 하였습니다. 또한 2개의 tube가 적용 가능하여 micro 에서 MACRO까지 분석이가능하여 분석 영역의 확장을 실현하였습니다.
고강도의 x ray가 guide tube를 통해 조사하여 sample의 굴곡이나 위상차에 따른 편차를 최소화 하였으며, mapping image의 간섭 또한 최소화 하였습니다. 또한 mapping image를 통해 sample의scanning transmission 광학상등을 얻을수 있으며 더불어 sample 의 구조 및 내부상의 분석도 가능합니다.

기능

- 최고의 분해능
  고유의 guide tube를 사용하여 최소 10um의 미소분석을 비파괴로 분석이 가능합니다. 

- 투과 X ray mapping
  Mapping image와 투과 image를 결합하여 국소 분분의 내부구조의 해석이 가능하여 보이지 않는 영역까지 분석이 가능합니다.

- 분석영역의 확대

- 최소 10um 에서 10x10cm까지의 거대영역까지 mapping 과 분석이 가능합니다.

- 집적data의 분석
  고객이 사용하기 쉬운 software를 채택하여 광학분석 여러 가지 분석영역지정, RGB합성, 정성 및 정량분석과 성분의 line Element profile구성 image 조정의 분석이 가능합니다.


제조원 HORIBA

사양

  • XGT System
    High Sensitivity Model (Spatial Resolution: 10 µm, 100 µm)
    TYPE Ⅰ: -
    TYPE Ⅱ: O

    Standard Type (Spatial Resolution: 100 µm)
    TYPE Ⅰ: O (Can be upgraded to 10 µm)
    TYPE Ⅱ: -
  • Transmitted X-ray Detector
    TYPE Ⅰ: O* (Option)
    TYPE Ⅱ: O
    *The transmitted X-ray image window is displayed during mapping even if the X-ray detector is not installed.
  • Optical Image
    Full Sample Optical Image Observation System
    TYPE Ⅰ: O (Option)
    TYPE Ⅱ: O (X2-X16)

    Enlarged Optical Image Coaxial Observation System
    TYPE Ⅰ: O* *(X30)
    TYPE Ⅱ: O (X100)
    ** "100X" when the full sample optical image observation system option is added.

    Measurement Position Setting from the Optical Image
    TYPE Ⅰ: O
    TYPE Ⅱ: O
  • Specifications for All XGT-5000 Models
    X-ray Tube: 50 kV max, 1 mA, Rh target
    Fluorescence X-ray Detector: High-Purity Si Detector (Xerophy)
    Elements Detected: Na to U (with sample at normal atmospheric pressure)
    Energy Range: 0 - 40 keV
    Maximum Measurement Area / Maximum Sample Size:
    100 mm x 100 mm / 350 mm x 400 mm x 40 mm
    OS: Windows XP

    Software
    Qualitative Analysis Functions
    : Automatic Qualitative Analysis, Multi-Point Analysis, Matching
    Quantitative Analysis Functions:
    FPM Quantification(Standardless, 1-point Calibration), Calibration Curve Quantification
    Mapping Analysis: Simultaneous Mapping of the transmitted
    Image and Elemental mapping Image, Pseudo Color, RGB composition, Image Line Analysis,
    Inter-Image Calculation, Phase Analysis (Option), Contrast Adjustment,
    Analysis Position Specification from the transmitted Image,
    Fluorescence Image and Optical ImageCRT Display, Printer Output
    Output: File Output, Data conversion Output (Option), Printing Layout (Option)

    Power Supply: AC100 V/ 50/60 Hz/ 1.3 kVA or less
    Device Weight: 280 kg
    External Dimensions: 2110(W) X 1000(D) X 1350(H) µm
  • Peripherals
    Vacuum Pump · Color Printer · MO Drive (Option) · CD-RW Drive (Option) · 17-in LCD Monitor (Option)· Transmitted Light Illumination System(Option)

외형도

XGT-5200 Dimensional outline drawing