Auto SE

Elipsômetro espectroscópico para medição simples de filmes finos

O Auto SE é uma nova ferramenta de medição de filmes finos que permite a análise totalmente automática de amostras de filmes finos com uma simples operação de pressionar um botão.

A análise da amostra leva apenas alguns segundos e fornece um relatório completo que descreve detalhadamente a estrutura da película fina – incluindo espessuras da película, constantes ópticas, rugosidade da superfície e inhomogeneidades da película.

O Auto SE é um instrumento repleto de recursos, incluindo uma mesa XYZ automática, imagens em tempo real do local de medição e seleção automática do tamanho do ponto. Muitos acessórios estão disponíveis para atender a uma ampla gama de aplicações.

O Auto SE inclui indicadores de diagnóstico integrados para a detecção e diagnóstico automático de problemas, com orientações abrangentes para o operador na resolução de problemas.

O Auto SE destaca-se pela sua facilidade de utilização e pelas inúmeras funcionalidades automáticas que Auto SE tornam um instrumento completo, ideal para medições de rotina de películas finas e controlo de qualidade de dispositivos.

Segmento: Científico

Divisão:Elipsometria Espectroscópica

Fabricante: HORIBA France SAS

Análise de películas finas facilitada com rotinas automáticas.
Sistema repleto de recursos
Visão de amostra
Micropontos com dimensões de até 25x60 µm
Grande variedade de acessórios

Faixa espectral: 440-1000 nm
Dimensões dos pontos: seleção automática 500x500 µm; 250x500 µm; 250x250 µm; 70x250 µm; 100x100 µm; 50x60 µm; 25x60 µm
Detecção: CCD – Resolução: 2nm
Plataforma de amostra: placas de vácuo, altura z 40 mm
Visualização da amostra: Câmera CCD - Campo de visão: 1,33 x 1 mm – Resolução: 10 µm
Goniômetro: Fixo a 70° - Possível ajuste a 66° e 61,5°
Inúmeros acessórios
Tempo de medição: <2s, tipicamente 5s
Precisão: NIST 100nm d ± 4Å, n(632,8nm) ± 0,002
Repetibilidade: NIST 15 nm ± 0,2 Å

Caracterização de dispositivos de filme fino de LED por elipsometria espectroscópica

Impulsionado por aplicações como TVs com retroiluminação LED e iluminação de estado sólido, o mercado global de LEDs está crescendo rapidamente. Os principais desafios para a iluminação LED em geral incluem a redução dos custos gerais de produção e o aumento da eficiência e da vida útil. O desempenho de um LED, caracterizado por sua eficiência energética, depende do projeto e das propriedades gerais do material da estrutura de filme fino do LED. A elipsometria pode ser usada para a determinação precisa da espessura e das constantes ópticas do dispositivo LED, tanto para pesquisa quanto para aplicações industriais. O controle preciso da espessura e do índice de refração é vital para a otimização das propriedades do dispositivo e para o controle de qualidade industrial.

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Caracterização de diodos orgânicos emissores de luz (OLEDs) por elipsometria espectroscópica

A tecnologia OLED desempenha um papel importante na tecnologia de displays, pois oferece diversas vantagens em comparação com a tecnologia LCD, entre as quais se destacam a eficiência e a alta qualidade de imagem, o alto contraste e o menor consumo de energia. Além disso, essa tecnologia possui um aspecto ecológico, já que utiliza materiais orgânicos recicláveis. No entanto, a melhoria do desempenho dos dispositivos produzidos por essas tecnologias requer um conhecimento preciso de suas propriedades ópticas e estruturais, que pode ser obtido por meio da elipsometria espectroscópica. Essa técnica óptica não destrutiva e sensível é capaz de caracterizar camadas com espessuras de alguns angstroms e fornece informações sobre o estado da superfície, a microestrutura de materiais compósitos, etc.

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Caracterização óptica de semicondutores orgânicos por elipsometria espectroscópica

Os elipsômetros espectroscópicos são ferramentas ópticas de medição de filmes finos, utilizadas para determinar a espessura e as constantes ópticas (n, k) de estruturas de filmes finos. São amplamente utilizados nas indústrias de microeletrônica, displays, fotônica, fotovoltaica, iluminação, revestimentos ópticos e funcionais e biotecnologia. Em comparação com outros instrumentos de metrologia óptica, a principal vantagem dos elipsômetros espectroscópicos reside na alta precisão e simplicidade de suas medições experimentais, além das informações físicas e materiais obtidas a partir da caracterização das constantes ópticas.

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Elipsometria espectroscópica de semicondutores compostos: heteroestruturas AlxGa1-xN / GaN

A elipsometria espectroscópica por modulação de cristal líquido é uma excelente técnica para a caracterização de alta precisão da heteroestrutura semicondutora composta AlGaN/GaN. Utilizando o elipsômetro espectroscópico MM-16, é possível determinar a espessura do filme e as dispersões ópticas de toda a estrutura de forma simples, mesmo quando o filme possui vários micrômetros de espessura. O conhecimento detalhado dos parâmetros ópticos das ligas de AlGaN é crucial, por exemplo, para o projeto de dispositivos optoeletrônicos. Além disso, a partir dos parâmetros ópticos, uma curva de calibração pode ser construída para fornecer uma determinação rápida e eficiente do teor de alumínio nas camadas de AlGaN. Assim, a elipsometria espectroscópica também se mostra uma técnica não destrutiva para a determinação da composição da liga de AlGaN. Este método pode ser igualmente aplicado a outros semicondutores compostos, como SiGe, semicondutores II-VI ou semicondutores III-V clássicos.

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