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Visão geral da tecnologia de modulação de fase
Capacidades de medição flexíveis
O software DeltaPsi2 oferece recursos de medição flexíveis, incluindo:
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O desempenho completo da análise elipsométrica
O software DeltaPsi2 inclui uma grande variedade de funções avançadas de modelagem para fornecer a versatilidade e o desempenho necessários para uma ampla gama de aplicações.
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Para tirar proveito das funções avançadas de modelagem, foram projetados diversos recursos para proporcionar o processo de modelagem mais preciso, testando toda a gama de soluções para encontrar o melhor modelo.
Processe seus resultados com flexibilidade e funcionalidade incomparáveis.O software DeltaPsi2 oferece recursos avançados para processar dados elipsométricos de forma simples e confiável.
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Operações fáceis de usar
Três modos de usuário para pesquisa, fabricação e controle de qualidade foram projetados para proporcionar operações fáceis de usar.
- O modo de pesquisa utiliza principalmente a função de arrastar e soltar do lado esquerdo da árvore de visualização para o lado direito da área de modelagem.
- O modo fab proporciona um ambiente operacional totalmente automático baseado em receitas automáticas, acionadas por botões, que automatizam completamente a sequência de análise: aquisição + modelagem + mapeamento + resultados.
- O modo de controle de qualidade, que é o novo pacote de software Auto Soft, foi projetado para facilitar as operações de análise elipsométrica.
Receitas Automáticas Simples
Uma receita automatiza completamente a aquisição de dados, a modelagem, o mapeamento e os resultados, o que facilita a análise rotineira de filmes finos.
O design do software permite ao usuário definir diversas rotinas e modelos de aquisição em uma única receita, bem como vários grupos de pontos em uma única grade.
- Procedimento da receita.
- Procedimento de ajuste.
- Critérios de aceitação para o controle de qualidade integrado.
- Acesso fácil às etapas da receita e aos arquivos originais para processamento/reprocessamento.
- Análise estatística
- Visualização padronizada dos resultados de mapeamento em wafers semicondutores e painéis de vidro.
- Funções de autofoco e reconhecimento de padrões.
- Protocolos de comunicação avançados (RS232, TCP/IP)
