Smart SE

SmartSE-HORIBA

Elipsômetro espectroscópico potente e econômico

 

Smart SE, um elipsômetro espectroscópico potente e econômico.
 
O Smart SE da HORIBA é um elipsômetro espectroscópico versátil para medições rápidas e precisas de filmes finos. Ele caracteriza a espessura de filmes finos desde alguns Angstroms até 20 µm, constantes ópticas (n, k) e propriedades da estrutura do filme fino (como rugosidade, camadas opticamente graduadas e anisotrópicas, etc.).

A faixa espectral de 450 a 1000 nm é medida em poucos segundos e os dados elipsométricos são analisados usando a plataforma de software DeltaPsi2. O software integra dois níveis de funcionalidade para atender tanto à análise de rotina com receitas predefinidas quanto à análise avançada com modelagem elipsométrica de última geração.

O elipsômetro Smart SE é uma ferramenta de P&D de filmes finos com excelente custo-benefício, sem comprometer os recursos, oferecendo desempenho de nível científico a um preço acessível. Ele fornece um sistema de visão integrado para posicionamento preciso do ponto focal, sete micropontos automatizados com tamanho variando até algumas dezenas de micrômetros para medição de pequenas características e a capacidade de medir a matriz de Mueller completa de 16 elementos em apenas alguns segundos para o estudo de amostras complexas.

O design flexível do Smart SE permite a automação completa da plataforma de amostras e do goniômetro, bem como o uso in situ em câmaras de processo. Ele se adapta a qualquer aplicação ou orçamento para uma ampla variedade de áreas de aplicação, incluindo microeletrônica, fotovoltaica, displays, revestimentos ópticos, tratamentos de superfície e compostos orgânicos.

 

 

Segmento: Científico
Fabricante: HORIBA France SAS
  • Rápido e preciso
  • Facilmente atualizável
  • Visualização da sua amostra pontual

 

 

Configurações padrão
Gama Spectra:450 nm a 1000 nm
Resolução espectralMelhor que 3nm
Fonte de luzCombinação de halogênio e LED azul
Tempo de medição<1 segundo a 10 segundos
Tamanho do feixe

75 µm * 150 µm, 100 µm * 250 µm,

100 µm * 500 µm, 150 µm * 150 µm,

250 µm * 250 µm, 250 µm * 500 µm,

500µm*500µm

Ângulo de incidência45 0 a 90 0 em incrementos de 5 0
Tamanho da amostraAté 200 mm
Alinhamento de amostraAjuste manual de altura e inclinação de 17 mm
Dimensões100 cm * 46 cm * 23 cm (L*A*P)
Apresentações
precisão de ar em linha retaΨ=45 0 ±0,05 0 Δ=0 0 ±0,2 0
Precisão de espessura em óxido de 1000 Å0.04%
Repetibilidade da espessura em óxido de 1000 ű0.02%

 

 

Opções

  • Ângulo de incidência automático de 45 ° a 90 ° em incrementos de 0,01 °.
  • Flanges ajustáveis in situ para montagem na câmara de processo
  • Etapas de aquecimento e resfriamento
  • Células líquidas e eletroquímicas
  • Sistema de autocolimação da mira

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