UVISEL Plus
Elipsômetro espectroscópico do ultravioleta extremo ao infravermelho próximo: 190 a 2100 nm
Elipsômetro de referência para medições de filmes finos
O elipsômetro UVISEL Plus oferece a melhor combinação de modularidade e desempenho para caracterização avançada de filmes finos, superfícies e interfaces.
O novo UVISEL Plus inclui a mais recente tecnologia de aquisição, projetada para realizar medições com maior rapidez e precisão do que nunca. O FastAcq, a mais nova tecnologia de aquisição, é baseado em dupla modulação e foi desenvolvido para a caracterização de filmes finos em situações reais. Com base em um novo sistema eletrônico, processamento de dados e monocromador de alta velocidade, a nova tecnologia FastAcq permite que a medição de uma amostra de 190 a 2100 nm seja concluída em apenas 3 minutos, com alta resolução.
Baseado na tecnologia de modulação de fase, o elipsômetro UVISEL Plus oferece um design óptico robusto para cobrir continuamente a faixa espectral de 190 a 2100 nm. Dados de alta qualidade são fornecidos em toda a faixa espectral em termos de alta precisão, medições de alta resolução e excelente relação sinal-ruído.
A tecnologia de modulação de fase caracteriza mudanças de polarização em alta frequência (50 kHz), sem qualquer movimento mecânico. O resultado é:
- Medições de alta precisão para todos os valores de (Ψ,Δ)
- Excelente relação sinal/ruído do FUV ao NIR
- Velocidade de aquisição de dados muito rápida, de até 50 ms/ponto, ideal para estudos cinéticos e medições in situ em tempo real.
O elipsômetro de modulação de fase UVISEL Plus alcança maior sensibilidade e precisão na caracterização de filmes finos quando comparado a elipsômetros convencionais que utilizam elementos rotativos. Ele permite a detecção de filmes ou interfaces muito finos que nenhum outro elipsômetro consegue visualizar, bem como a caracterização de camadas espessas de até 50 µm. A medição e a caracterização de amostras transparentes com reflexões na face posterior são simples e precisas, sem a necessidade de riscar a superfície.
Projetado para oferecer maior flexibilidade em medições de filmes finos, o UVISEL Plus oferece microspots para amostras padronizadas, ângulo variável, estágio de mapeamento automático e uma variedade de acessórios, tornando-o escalável para atender a todas as suas necessidades de aplicação e orçamento.
O design modular do UVISEL Plus permite que ele seja usado tanto como uma ferramenta de metrologia de bancada quanto para integração in situ em câmaras de processo ou máquinas rolo a rolo.
O UVISEL Plus é controlado pela plataforma de software DeltaPsi2 ou pela interface Auto-Soft, comuns a todos os elipsômetros HORIBA. O DeltaPsi2 oferece um pacote completo de medição e modelagem, permitindo lidar com aplicações de filmes finos tanto rotineiras quanto avançadas, enquanto a interface Auto-Soft apresenta um fluxo de trabalho intuitivo para agilizar a coleta e análise de dados.
O UVISEL Plus e sua tecnologia FastAcq são os elipsômetros espectroscópicos mais versáteis para medições de espessura de filmes finos e constantes ópticas nas áreas de pesquisa e processamento de materiais, telas planas, microeletrônica e energia fotovoltaica.
O UVISEL Plus é considerado um elipsômetro de referência para ciência de materiais de ponta.
