Espectrómetros OES

OES Spectrometers (Optical Emission Spectrometers for OEMs) optimized for SEMICON applications including plasma monitoring/end-point detection and reflectometry (with the addition of a flash lamp). The OES-Star features unmatched throughput and SNR, spectral coverage and < 1 nm resolution). Our new OES Family, OES-Star and VS70-MC include our latest “Multi-Communications interface” electronics (MC= EtherCAT, Ethernet, USB-2).

El M116 es un nuevo espectrómetro de imagen multiespectral (200-1050 nm) con un sensor CMOS Scientific 2D de alta velocidad que permite monitorizar múltiples herramientas o múltiples áreas de un plasma, con 8, 16 o 32 canales de fibra óptica, adquiridos completamente simultáneamente. Su sensor cuenta con < ruido de lectura 2e, obturador electrónico y interfaz USB3. Para la integración en un reflectómetro, se pueden diseñar paquetes de fibra óptica personalizados según tus necesidades.