プラズマは他の状態にくらべ、非常に反応性が高くなっている状態です。この特性を活かして、プラズマは様々な産業に活用されています。
例えば、ナノメートル(10億文の1メートル)単位の穴や溝を掘ることや、膜をつけることに適しています。反応性の高い状態のメリットとして、各種の処理を素早く進めることができ、半導体集積回路の生産工程で多用されています。
半導体以外にも微細加工、薄膜合成、表面改質、除害、殺菌・滅菌・消毒など産業の各分野で活用されています。
プラズマ発光モニタ
プラズマエミッションコントローラ
