高温対応デジタルマスフローコントローラ SEC-8000F/D/E Series

概要

高温環境(120℃)までの環境で使用できる高温対応デジタルマスフローコントローラです。加温環境での流量制御を必要とする液化ガスや液体材料の流量制御に最適。パージ時には、150℃のベーキングが行えます。また、100L/分(N2)の大流量制御に対応したモデルもラインアップしています。
±1.0 S.P.の高精度、1秒以内の高速応答を実現しています。

特長

  • 15℃から120℃までの高温環境対応

  • 高精度:±1.0%S.P.(セットポイント)保証

  • 高速応答:1秒以内(T98) 

  • ウルトラクリーン対応


製造会社: HORIBA STEC

仕様

SEC-8000F/D/E Series 仕様一覧

外形寸法図・他(単位:mm)

アプリケーション

幅広い産業でご使用いただいています

  • 各種生産装置への搭載:半導体、LED、光ファイバーグ
  • 精密水分添加システム、液体材料気化供給システム
  • ラボ:各種実験用ガス流量制御機器 等