D700MG

高速応答・高精度マスフローモジュール

半導体製造におけるガス制御はプロセス結果を左右する重要な要素の一つです。近年は先端半導体デバイスの微細化・三次元構造化といった進化に伴い、生産性や歩留まり向上へ寄与するガス制御性能の改善要望が日々高まってきています。堀場エステックはCRITERION™シリーズの最新機種として「D700」を開発し、流体計測制御技術を通して更なる顧客満足を目指します。