POCl3自動供給装置

概要

Si結晶系太陽電池セル製造工程において、n型拡散層を形成するためのドーパントとしてオキシ塩化リン(POCl3)が利用されています。
HORIBA POCl3自動供給装置は、従来の方法に比べて、プロセスの生産性や信頼性の向上とランニングコストの削減を実現します。
このPOCl3自動供給装置 LU-4000は、弊社のアドバンスドバブラー(VM Series)や従来のガラス製バブラーにオキシ塩化リンを自動供給します。
注記:p型拡散層の形成を目的とする三臭化ホウ素(BBr3)についても、ご相談下さい。

特長

  1. 連続運転による高い生産性
    自動供給装置 LU-4000では、バブラー定期交換の必要がないため、装置ダウンタイムの最小化による高い生産性を実現します。
  2. ランニングコストの低減
    ・オキシ塩化リン(POCl3)消費量削減
    自動供給装置 LU-4000による自動供給方式の採用により、従来のようにオキシ塩化リンを一定量残した状態で、バブラーを交換する必要はなく、オキシ塩化リンを使いきることできます。
    ・オキシ塩化リン(POCl3)コスト削減
    キャニスターは、20Lが、標準であり、従来の1Lに比べ、充填の作業コストが低減されるため、オキシ塩化リンコストの低減が期待できます。
    ・ハンドリングコストの低減
    交換頻度の低減及び、交換に伴うメンテナンスタイムの低減により、大幅な工数の低減が可能となります。
  3. 信頼性の向上
    オキシ塩化リン(POCl3)は、大気中の水分を取込みやすい物質であり、リン酸を生成します。これにより、腐食や結晶化の問題が発生することが考えられます。
    一般的なバブラーでは、POCl3の材料が、低下すれば、取外しの上、交換する必要がありますが、この過程において、大気と接触する可能性が考えられます。
    それに比べて、HORIBA POCl3自動供給装置は、自動供給を行うため、通常のオペレーションにおいて、バブラーを取り外すことなく、大気と接触する可能性は、大変低いため、問題発生の確率が大幅に低減します。
    加えて、自動供給モジュール、バブラーモジュールとそれらを接続する配管まで、システム全体をN2雰囲気にて封入する構造であり、問題発生の可能性を低減しています。

製造会社: HORIBA