X線分析顕微鏡

X線分析顕微鏡（微小部X線分析装置）は、X線ガイドチューブを用い微小領域を分析できる顕微鏡タイプの蛍光X線分析装置です。HORIBA独自のX線集光素子を使った、細くて強度の高いX線ビーム方式を採用し、X線コリメータを使った従来の方式に比べ微小部の高速測定が可能です。XGTは、試料室全体を真空にできるだけでなく、検出器側を真空状態にしながらも試料室は大気環境を保てる特殊な機構により、サンプル形態を問わず分析できます。真空状態で分析が難しい粉体、液体、含水試料などもそのまま前処理不要で分析でき、様々な試料の元素分析に対応できます。