X線分析顕微鏡は、X線ガイドチューブを用い微小領域を分析できる顕微鏡タイプの蛍光X線分析装置です。HORIBA独自のX線集光素子を使った､細くて強度の高いX線ビーム方式を採用し、X線コリメータを使った従来の方式に比べ微小部の高速測定が可能です｡

試料に含まれる元素の定性・定量分析を簡単・迅速に行う事が出来ます。材料の成分管理、異物・不純物などの微量成分検出、めっきなどの膜厚計測などが非破壊で行えます。また、専用のソフトウエアによりRoHSスクリーニングなどの有害元素分析にも対応します。

蛍光X線分析は非破壊・非接触で元素分析ができる分析手法であり、今までは主に実験室で使われてきましたが、Roll to Rollプロセスなどにおけるインラインの塗布量の測定や石油・めっき液・排水中などに含まれる元素のオンライン測定などへの活用が拡大しています。