真空計測・インラインガス濃度に関するお困りごと

真空計測・インラインガス濃度に関するご提案

【お悩み例】
・成膜プロセスの歩留まりを向上させたい
・真空チャンバに残っている水分やガスを簡単にモニタリングしたい

解決

真空中の全圧・分圧を把握してチャンバのコンディションを管理!

チャンバ内のリークや残留水分は
真空プロセスの品質に影響を与えます。
四重極質量分析計を用いて真空下の分圧を把握いただくことで、
試験プロセスの状態が細かく見える化され、
課題の原因究明にお役立ていただけます。

業界最小の分析計でメンテナンスも容易に!

世界最小クラス(2024年自社調べ)の分析計であり、
お客様側でのセンサ部が交換可能。また、メンテナンスの簡略化を実現。


真空測定技術

真空中のガス分析法には、四重極質量分析法があります。
真空中の全圧だけでなく、分圧を計測し、微量なガス成分を分析する手法として認知されています。


【お悩み例】
・バブリングでの発生ガス濃度の変化を計測したい
・安定的に希望の濃度が発生できているか不安

解決

リアルタイムに発生ガス濃度の状態をモニタリング!

バブリング後の濃度は計算式で導き出せますが、
正確に気化発生が出来ているかを把握するためには、
濃度計によるモニタリングが重要となります。
また、ガス発生時の状態をモニタリングすることで、
気化が安定する時間を想定し、ガス廃棄の時間を最適化。
廃棄する液体材料の無駄低減にもつながります。

コンパクトなインラインガスモニタ

堀場エステックのガス濃度モニタは、小型のインラインガスモニタとなります。
ガス流路に直接設置することによってサンプリングラインは不要となり、
ガスラインの簡素化にも貢献します。


HORIBAの分析技術

インラインガス濃度モニタでは、赤外線吸収法に分類される、非分散型赤外線吸収法(NDIR)を採用しています。ガスを直接計測することにより、インラインでガス濃度が計測できます。

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ガス濃度モニタ
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Vapor Concentration Monitor IR-300