流体計測制御技術
熱式・差圧式などの計測原理を駆使し、腐食性ガスから超高純度液体まで幅広い流体を高精度に計測します。
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ガスや液体などの流体は、半導体デバイス、液晶ディスプレイ、LED、太陽電池パネルをはじめ、幅広い産業の製造工程で欠かせない存在です。特に先端デバイスの製造では、様々な特性を持つ流体を正確に計測・制御・分析することが、生産効率や品質を大きく左右します。当社は設立以来培ってきた流体計測・制御技術をさらに発展させ、幅広い産業分野の生産性向上と品質確保を支援します。
