PV Series

ピエゾバルブ

外部機器からの制御信号を用いて、ガス流量または圧力制御するための高速応答バルブです。メタルダイヤフラム、メタルO-リング採用。接ガス部はオールメタル構造でウルトラクリーン対応です。ガスだけでなく、液体の流体制御も可能。

事業セグメント: Semiconductor

製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.

ウルトラクリーン対応：オールメタル構造を採用
微小流量から大流量までの流体制御が可能
高温対応モデルラインアップ：PV-1000S/2000Sタイプ
RoHS指令適合

■外部機器による圧力コントロール
ピエゾバルブ：PV Seriesを外部機器からの制御信号を用いて圧力制御が行えます。圧力センサからの圧力信号と外部機器（PLC等）からの制御信号を制御ユニット： PCU-1000/2100へ入力します。制御ユニット内部のPID回路により最適な制御状態を算出しピエゾバルブへ開度信号を出力しライン圧の制御を行います。制御ユニット：PCU-2100では圧力制御信号を設定する機能を搭載しています。

PV-1000
流量レンジ	1/5/100/200/500 CCM 1/2/5 LM (入口大気圧、出口真空、N₂換算)
流量制御範囲	フルスケールの2〜100%
バルブ方式	ノーマルオープン/クローズ型
制御入力1	0〜5VDC
応答性	0.5秒以内
使用温度	0〜50℃
使用圧力	MAX.300kPa
耐圧	1MPa
リーク規格	5×10^-12Pa・m³(He)

PV-2000
流量レンジ	10/20 LM (入口大気圧、出口真空、N₂換算)
流量制御範囲	フルスケールの2〜100%
バルブ方式	ノーマルオープン/クローズ型
制御入力1	0〜5VDC
応答性	0.5秒以内
使用温度	0〜50℃
使用圧力	MAX.300kPa
耐圧	1MPa
リーク規格	5×10^-12Pa・m³(He)