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ピエゾバルブ
外部機器からの制御信号を用いて、ガス流量または圧力制御するための高速応答バルブです。メタルダイヤフラム、メタルO-リング採用。接ガス部はオールメタル構造でウルトラクリーン対応です。ガスだけでなく、液体の流体制御も可能。
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