薬液濃度モニタは、半導体プロセスの進化とともに、薬液の濃度モニタリングから、［モニタ→フィードバック→コントロール］というプロセスコントロールの必須アイテムとしてより高度な役割が求められるようになってきています。
FEOL から BEOL までの薬液濃度管理に適した薬液濃度モニタを幅広くラインアップし、お客様のニーズにあわせてご提案いたします。

※対応薬液リストはこちらより