CS Series

薬液濃度モニタは、半導体プロセスの進化とともに、薬液の濃度モニタリングから、[モニタ→フィードバック→コントロール]というプロセスコントロールの必須アイテムとしてより高度な役割が求められるようになってきています。
FEOL から BEOL までの薬液濃度管理に適した薬液濃度モニタを幅広くラインアップし、お客様のニーズにあわせてご提案いたします。

※対応薬液リストはこちらより


CS-900
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非接触型薬液濃度モニタ

CS-620F
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光ファイバ式熱リン酸濃度モニタ

CS-700
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薬液濃度モニタ

CS-600F
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光ファイバ式薬液濃度モニタ

CS-100シリーズ
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薬液濃度モニタ

CS-100F1シリーズ
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光ファイバ式薬液濃度モニタ