CS Series

薬液濃度モニタは、半導体プロセスの進化とともに、薬液の濃度モニタリングから、[モニタ→フィードバック→コントロール]というプロセスコントロールの必須アイテムとしてより高度な役割が求められるようになってきています。
FEOL から BEOL までの薬液濃度管理に適した薬液濃度モニタを幅広くラインアップし、お客様のニーズにあわせてご提案いたします。

※対応薬液リストはこちらより


more CS-900

非接触型薬液濃度モニタ

more CS-620F

光ファイバ式熱リン酸濃度モニタ

more CS-700

薬液濃度モニタ

more CS-600F

光ファイバ式薬液濃度モニタ

more CS-100シリーズ

薬液濃度モニタ

more CS-100F1シリーズ

光ファイバ式薬液濃度モニタ

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