Leistungsstarke DeltaPsi2 Softwareplattform für HORIBA Scientific Ellipsometer und Reflektometer

DeltaPsi2 ist eine integrierte Softwareplattform für die Dünnschichtanalyse, die bei allen spektroskopischen Ellipsometern und Reflektometern von HORIBA Scientific zum Einsatz kommt.
Bei DeltaPsi2 handelt es sich um eine umfassende Komplettsoftware für komplexe Messungen, Modellierung und Berichterstellung. Sie bietet zahlreiche Funktionen zur genauen und flexiblen Charakterisierung von Dünnschichtstrukturen und Bestimmung der optischen Konstanten.

Die wichtigsten Neuerungen wurden im Bereich der automatischen Modellierung vorgenommen, einschließlich automatischer Anpassungsmethoden und der Parametrisierung von Dispersionsbeziehungen, so dass sich die Analysen jetzt noch anwenderfreundlicher und schneller durchführen lassen. Auch die neuesten Weiterentwicklungen bei der Charakterisierung periodischer Strukturen (1D, 2D, Gitter) wurden in die Software integriert.

Nutzen auch Sie die Vorteile der DeltaPsi2 Software

Ellipsometrische und reflektometrische Datendateien können (im ASCII-Format) in DeltaPsi2 importiert werden, um die Daten beliebiger Ellipsometer und Reflektometer zu modellieren und davon Berichte zu erstellen.

Möchten Sie Ihre bestehenden Modellierungsfähigkeiten erweitern oder brauchen Sie eine Software für die Dünnschichtanalyse? Die DeltaPsi2 Software ist die optimale Wahl zur Maximierung des Anwendungserfolgs.

More information: tfd-sales-sci.fr@horiba.com

Flexible Messungen

Die DeltaPsi2 Software bietet flexible Messfunktionen, einschließlich:

  • Reflexions-/Transmissions-Ellipsometrie
  • Müller-Matrix
  • Depolarisation
  • Reflektometrie
  • Transmissions- und Reflexionsdaten
  • Kinetische Daten
  • Scatterometrie
  • Variabler Winkel

Leistungsstarke ellipsometrische Analyse

Die DeltaPsi2 Software bietet dank zahlreicher moderner Modellierungsfunktionen die Vielseitigkeit und Leistungsfähigkeit, die für eine breite Anwendungspalette benötigt werden.

  • Umfassende Materialbibliothek auf Basis von Dispersionsbeziehungen und Datenbank mit Literaturverweisen
  • Rauhigkeit von Grenzflächen (EMA)
  • Zusammensetzung von Legierungen
  • SiGe-Kristallinität
  • Periodische Strukturen
  • Optische Konstanten von Stufenindex-Schichten
  • Anisotrope Strukturen
  • Korrelierte Schichten
  • Berechnung von Bandlücken
  • Automatische Rückseitenkorrektur
  • Analyse ultradünner Schichten (BLMC)
  • Neues Skript zur Erstellung weiterer Parameter nach der Berechnung

Zahlreiche Modellierungsfunktionen sorgen für eine genaue Modellierung, bei der zur Ermittlung des besten Modells alle möglichen Lösungen getestet werden.

  • Leistungsstarke mathematische Anpassungsalgorithmen
  • Multiguess, Multistart
  • (n, k)-Anpassung
  • Kombinierte Messungen/Analysedaten
  • Spektrale Auflösung
  • Uneinheitlichkeit dünner Schichten
  • und vieles mehr ...

Verarbeiten Sie Ihre Ergebnisse mit maximaler Flexibilität und Funktionalität.

Die DeltaPsi2 Software bietet leistungsstarke Funktionen zur einfachen und zuverlässigen Verarbeitung von ellipsometrischen Daten.

  • Anpassbare Benutzeroberfläche
  • Datenverarbeitung
  • Leistungsstarke Funktionen zur grafischen Darstellung
  • Übertragen von Daten über die Windows® Zwischenablage
  • Import- und Exportfunktionen
  • Automatische Berichterstellung
  • Ausgabebeschreibung für die automatische Berechnung spezifischer Werte nach der Modellierung
  • Online-Hilfe

Anwenderfreundliche Bedienung

Drei Benutzermodi für Forschung, Produktion und Qualitätskontrolle sorgen für eine anwenderfreundliche Bedienung.

  • Der Forschungsmodus beruht hauptsächlich auf Drag&Drop-Bedienung, wobei die Elemente von der linken Seite der Baumstruktur zur rechten Seite des Modellierungsbereichs gezogen werden.
  • Der Produktionsmodus bietet eine vollautomatische Umgebung, in der auf Knopfdruck vordefinierte Methoden aufgerufen werden, die für einen vollautomatisierten Ablauf der aus Akquisition, Modellierung, Mapping und Ergebnissen bestehenden Analysesequenz sorgen.
  • Der im neuen Auto Soft Softwarepaket implementierte Qualitätskontrollmodus ermöglicht eine einfache Durchführung ellipsometrischer Analysen.

Einfache vordefinierte Methoden

Methoden erleichtern die routinemäßige Dünnschichtanalyse, sorgen sie doch für die vollständige Automatisierung der Analysesequenz aus Akquisition, Modellierung, Mapping und Ergebnissen.

Die Software ist so ausgelegt, dass der Benutzer mehrere Akquisitionsroutinen und Modelle in einer einzelnen Methode sowie mehrere Gruppen von Punkten in einem einzelnen Raster definieren kann.

  • Methoden
  • Anpassung
  • Akzeptanzkriterien für die integrierte Qualitätskontrolle
  • Einfacher Zugriff auf die Methoden und Originaldateien zur Verarbeitung und erneuten Verarbeitung
  • Statistische Analyse
  • Standardisierte Visualisierung der Mapping-Ergebnisse für Halbleitersubstrate und Glasscheiben
  • Autofokus und Mustererkennung
  • Leistungsstarke Kommunikationsprotokolle (RS232, TCP/IP)
Ellipsometry for Organic Webinar