Schematische Darstellung des ASU‑Prozesses
Eine Luftzerlegungsanlage (Air Separation Unit, ASU) erzeugt hochreine Gase wie Sauerstoff (O2), Stickstoff (N2) und Argon (Ar) mittels kryogener Destillation. Diese Gase werden in zahlreichen Industrien eingesetzt – darunter Stahl, Chemie, Energie, Elektronik und Gesundheitswesen – in denen bereits geringste Spurenverunreinigungen Prozesse beeinträchtigen können.
HORIBA unterstützt die industrielle und medizinische Gasproduktion mit Analysatoren zur kontinuierlichen Überwachung von Spurenverunreinigungen bis in den ppb‑Bereich sowie mit Reinheitsmessgeräten für den gesamten Bereich von 0–100 %. Das Portfolio umfasst zudem Strahlungsthermometer zur Temperaturüberwachung von Gasflaschen.
Der Spurengas-Monitor GA‑370 von HORIBA nutzt die nichtdispersive Infrarot‑Photometrie (NDIR) zur Messung von Spurenkonzentrationen von Lachgas (N2O) und Kohlendioxid (CO2) hinter der Nachreinigungsanlage. Spuren von CO2 werden auch im N2- und O2-Produktstrom gemessen, wobei der typische Überwachungswert bei 1 ppm liegt.
Der Schwefeldioxid-Monitor APSA-380 von HORIBA nutzt UV-Fluoreszenz zur Messung von Spurenmengen an Gesamt-Reduktionsschwefel (TRS) und Schwefeldioxid (SO2) hinter der Nachreinigungsanlage sowie im N2- und O2-Produktstrom.
Der Kohlenwasserstoffmonitor APHA-380 von HORIBA nutzt Flammenionisationsdetektoren (FID) zur Messung von Gesamtkohlenwasserstoffen (THC) im Spurenbereich am Lufteinlass und hinter der Nachreinigungsstufe.
Der Spurengasmonitor GA-370 ermöglicht die kontinuierliche, hochempfindliche Überwachung von CO, CO2, CH4 und N2O in hochreinen Gasen und unterstützt so eine zuverlässige Qualitätskontrolle in Luftzerlegungs- und Halbleiteranlagen.
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Trace Gas Monitor
Sulfur Dioxide Monitor
Hydrocarbon Monitor
Air Quality Monitor
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N2, O2, Ar: Luftzerleger
CO2: Industrielle Quellen oder Verbrennung
CO: Methanreformer (HyCO)
H2: Wasserelektrolyse und Methanreformer
NH3: Haber‑Bosch‑Verfahren
N2O: Erhitzung von Ammoniumnitrat (NH4NO3)
NO: Oxidation von NH3
He: Erdgasquellen
C2H4: Steamcracker
NDIR‑Photometrie
Wird zur Messung von Verunreinigungen und Reinheitsgraden in CO, CO2, N2O, CH4, usw. verwendet.
UV‑Fluoreszenz (nach Oxidation)
Dient zur Messung von Verunreinigungen in SO2, H2S und anderen schwefelhaltigen Verbindungen (TRS, TS).
Paramagnetischer Detektor (PMD)
Dient zur Messung von Verunreinigungen und Reinheit in O2.
Chemilumineszenzdetektor (CLD)
Dient zur Messung von Verunreinigungen in NO, NO2, NOx.
Flammenionisationsdetektor (FID)
Dient zur Messung von Verunreinigungen in CH4, C2H6, etc.
