GA-370

Spurengas-Monitor

Zur Überwachung der Qualitätskontrolle hergestellter hochreiner Gase in Luftzerlegungs- und Halbleiterfabriken

GA-370 bietet eine konstante, ultrahochempfindliche und hochpräzise Überwachung von Spurenverunreinigungen (CO, CO2 und CH4) für die Qualitätskontrolle in Gasherstellungsanlagen.


Einführung und Anwendung von GA-370

Abteilung: Umgebung

Ultrasensible Messungen

  • Ein nichtdispersiver Infrarotanalysator (NDIR) mit Querstrommodulation und zwei Strahlen sorgt für kontinuierliche und stabile Messungen ohne Nulldrift.
  • Minimale Nachweisgrenze (MDL) von 10 ppb, die Anwendungen unterstützen kann, bei denen hochgenaue Messungen erforderlich sind.

 

Messung von Spurenverunreinigungen in einem Restgas

  • Repräsentative Gase wie N2, O2, He, Ar, H2 und Luft werden unterstützt.

 

Einfacher, wartungsfreier Betrieb

  • Bedienerfreundliche Bildschirmmenüs vereinfachen Betrieb, Kalibrierung und Messungen des Analysators
  • Keine optische Ausrichtung erforderlich.
  • Über ein Farb-LCD-Touchdisplay können Bediener Diagramme der gesammelten Daten anzeigen.

 

Anwendung

  • Überwachung von Spurenverunreinigungen in Luftzerlegungsanlagen

Luftzerlegungsanlage trennt atmosphärische Luft durch Destillation bei kryogenen Temperaturen in ihre Hauptbestandteile Sauerstoff (O2), Stickstoff (N2) und Argon (Ar).

Die Lufttrennung erfolgt anhand der Siedepunktdifferenz der einzelnen Gasbestandteile in der Destillationseinheit, aber die Luft muss vorher in der Vorreinigungseinheit (PPU) behandelt werden Einstieg in den kryogenen Destillationsprozess. PPU wurde entwickelt, um Wasserdampf, Kohlendioxid (CO2) und andere in der Luft enthaltene Verunreinigungen zu entfernen, um Wasser und CO2 zugewährleistengelangt nicht in die Destillationseinheit, wo es zu einem Verstopfen des Prozesses und Explosionsgefahr führen könnte.

Der HORIBA Spurengasmonitor GA-370 ist ein nützliches Werkzeug für die kontinuierliche Überwachung von Verunreinigungen, die im abgetrennten Gas zur Sicherheitskontrolle vorhanden sein könnten. Es kann auch zur Messung von Verunreinigungen (CO, CO2, CH4) im Endprodukt von O2, N2und Ar zur Qualitätssicherung verwendet werden.

Messprinzip

  • Kreuzmodulations-Zweistrahl-nichtdispersive Infrarot-Methode

Bei der NDIR-Methode mit Kreuzmodulation wird ein Magnetventil verwendet, das in einem festen Zyklus (z. B. 1 Hz) schaltet, um ein Probengas und ein Referenzgas synchron und abwechselnd in die eine Gaszelle strömen zu lassen und so ein moduliertes Konzentrationssignal des zu messenden Gases zu erhalten.

Bei dieser Methode wird kein Modulationssignal erzeugt, wenn das Probengas und das Referenzgas dieselben Gase sind (Nullpunkt). Das Fehlen mechanischer Teile wie eines rotierenden Sektors ermöglicht ein langfristig stabiles Ausgangssignal.

Bei der Kreuzmodulations-Zweistrahl-NDIR-Methode ermöglicht die Verwendung eines Doppelstrahls (Lichtquelle) und einer Doppelzelle, dass das Probengas und das Referenzgas abwechselnd in die beiden Zellen strömen. Die Membran des Kondensatormikrofons im Detektor bewegt sich nach links und rechts und liefert im Vergleich zur Methode mit rotierendem Sektor die doppelte Signalmenge, wodurch das SN-Verhältnis verbessert wird.

Die Grafik zeigt den Rauschpegel der Kreuzmodulations-Doppelstrahl-nichtdispersiven Infrarotmethode, der extrem niedrig und stabil ist. Somit bietet diese driftfreie Methode selbst bei der Messung von Spurenkonzentrationen von Verunreinigungen in hochreinen Gasen Langzeitstabilität und einen niedrigen Rauschpegel.


 

Verwandte Anwendungen

 

Mehr entdecken 

▶ Wasserstoff-Qualitätsprüfung für FCV an der Wasserstofftankstelle vor Ort

 

 

Modell GA-370
Gemessene Gase CO, CO2, CH4
Massengase N2, O2, He, Ar, H2, Luft
Anzahl der Messkomponenten 1 Komponente oder 2 Komponenten (Messausgleichsgas angeben)
Messprinzip Querstrommodulation durch nichtdispersives Infrarot (NDIR)-Absorptionsverfahren
Messbereiche 0 bis 1/2/5/10 ppm
Unterste Nachweisgrenze (2σ) 10 ppb
Wiederholbarkeit ≤ ± 2 % vom Skalenendwert
Anzeigefehler ≤ ± 2 % vom Skalenendwert
Nulldrift ≤ ± 0,02 ppm/Tag, ≤ ± 0,03 ppm/Woche
Spannweitendrift ≤ ± 2 % des Skalenendwerts/Tag, ≤ ± 2 % des Skalenendwerts/Woche
Ansprechzeit (T90) 

≤ 180 s

Gasdurchflussrate Probengas: ca. 3,5 l/min, Referenzgas: ca. 3,5 l/min, Prüfgas: ca. 3,5 l/min

Hinweis: Sowohl für das Proben- als auch für das Referenzgas wird ein Lieferdruck von 50–100 kPa empfohlen.

Analogausgang 

Max. 2 Kanäle isolierter Ausgang (2 Komponenten)

Wählen Sie einen Wert zwischen 0 und 1 V, 0 und 10 V, 0 und 16 mA, 4 und 20 mA oder 0 und 20 mA.

Stromausgang: Zulässiger Lastwiderstand 750Ω oder weniger

InstallationsbedingungenUmgebungstemperatur0 bis 40 °C
Relative Luftfeuchtigkeit≤85%
StaubWeniger als der Umweltstandard 
Vibration≤ 0,29 m/s², bei ≤ 100 Hz 
Außenmaße, Gewicht 430 (B) x 221 (H) x 555 (T) mm (ohne Vorsprünge), ca. 18 kg
Stromversorgung 100 bis 240 V AC, ≤ ± 10 % (max. Spannung: 250 V AC)
Stromverbrauch Ca. 100VA
Überwachung von Verunreinigungen in Wasserstoffgas für FCV
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