Die nichtdispersive ultraviolette Absorptionsmethode (NDUV) ist eine Methode, die die molekulare ultraviolette Absorption verwendet. Da Ozon (O3) UV-Strahlung bei einer bestimmten Wellenlänge absorbiert, kann diese Methode zur Messung von O3-Gas verwendet werden. DaO3-Gaseine maximale Absorptionsbande im ultravioletten Bereich bei 253,7 nm hat, wird diese Wellenlänge zur Messung seiner Konzentration verwendet. Im folgenden Abschnitt wird die Messung von O3 ineinem Messgas mittels NDUV erläutert.
Abbildung 1: Grundstruktur eines Gasanalysators mit NDUV.
Ultraviolettes Licht einer bestimmten Wellenlänge (Auflicht) von der UV-Lichtquelle wird von O3absorbiertin das in die zu messende Kammer (Gaszelle) eingeleitete Messgas. Wie viel absorbiert wird, erhält man durch die Messung der UV-Strahlung, die selektiv durch einen optischen Filter mit einem Photodetektor durchgelassen wird. Nach dem Lambert-Beer-Gesetz wird für die Messung des Photodetektors die Konzentration von O3im Messgas berechnet. (Abbildung 1)
Die Beziehung zwischen UV-Absorption und Gaskonzentration wird durch das Lambert-Beer-Gesetz bestimmt.
Die Absorptionsmenge des einfallenden Lichts variiert entsprechend der Konzentration der absorbierenden Moleküle. Diese Beziehung wird durch das Lambert-Beer-Gesetz ausgedrückt.
Ι = Ι0exp (-µcd)
Ι: Intensität des Durchlichts
Ι0: Intensität des einfallenden Lichts
c: Konzentration der absorbierenden Moleküle (gemessene Komponente)
μ: Absorptionskoeffizient (Konstante bestimmt durch Molekül und Wellenlänge)
d: Dicke der absorbierenden Molekülschicht (Gasschicht)
Ein Analysator, der NDUV verwendet, wird als UV-Absorptionsgasanalysator bezeichnet. Es ist einfach aufgebaut, leicht zu warten und verfügt über Funktionen, die für die kontinuierliche Messung geeignet sind, so dass es für die Messung von O3verwendet wird.
Abbildung 2: Aufbau und Funktionsprinzip des UV-Absorptionsgasanalysators
Wird UV-Licht (Auflicht) kontinuierlich bestrahlt, während das Messgas durch die Gaszelle strömt, kann die O3im Messgas absorbiert UV-Licht proportional zur Gaskonzentration. Mit zunehmenderO3-Konzentrationnimmt auch die Menge an absorbiertem UV in der Gaszelle zu. Das in der Gaszelle absorbierte UV-Licht wird durch einen optischen Filter selektiert und an den Detektor weitergeleitet. Dieses Durchlicht wird durch einen Photodetektor (Fotodiode) detektiert, und die Konzentration von O3im Messgas wird durch die Signalverarbeitung für die Detektion kontinuierlich gemessen Signal.
Kreuzmodulationsverfahren mit Referenzgas, das durch Entfernen von O3erzeugt wirdim Messgas, verbessert die Störfestigkeit des Detektionssignals und reduziert den Effekt der Verringerung der Lichtintensität der UV-Lichtquelle.
Bei einer Kreuzmodulationsmethode handelt es sich um eine Modulation mit periodischem Umschalten der Gase für eine Gaszelle durch eine Magnetventileinheit. Bei der Kreuzmodulationsmethode werden ein Probengas und ein Vergleichsgas abwechselnd durch eine Magnetventileinheit umgeschaltet und in regelmäßigen Abständen in die Gaszelle eingeführt, um das Detektorsignal zu modulieren. Durch die Verwendung dieses modulierten Detektionssignals wird das Rauschen reduziert und eine hochgenaue kontinuierliche Gasmessung ist möglich. Der Nullpunkt des Analysators ist stabil, da das Referenzgas, das die gemessene Komponente nicht enthält, immer als Gas mit Nullkonzentration gemessen wird.
Das eigentliche Kreuzmodulationsverfahren verwendet eine Magnetventileinheit zum Schaltmechanismus (Modulationsmechanismus), um abwechselnd ein Messgas und ein Referenzgas in eine Gaszelle zu strömen. Das in die Gaszelle strömende Referenzgas wird erzeugt, indem O3mit Hilfe eines Ozonzersetzers aus dem Messgas entfernt wird. (Abbildung 3)
Abbildung 3: Aufbau und Funktionsprinzip des Ozon (O3)-Gasanalysators
Durch NDUV mit der Kreuzmodulation wird das vom Photodetektor erfasste UV in der Signalverarbeitung in ein Wechselsignal (Modulationssignal) und ein Gleichstromsignal aufgeteilt, und das Wechselstromsignal wird als O3verstärktund die O3-Konzentration wird berechnet. Die Verwendung eines modulierten Signals verbessert die Störfestigkeit des Detektionssignals.
Das DC-Signal, das proportional zur Intensität der UV-Lichtquelle ist, wird verwendet, um die Abnahme der Intensität der UV-Lichtquelle aufgrund der Alterung auszugleichen. Dadurch sind die Null- und Span-Punkte des Analysators über einen langen Zeitraum stabil.
Der Gasanalysator, der NDUV verwendet, kann O3im Messgas durch diese Strukturen und Vorgänge stabil und kontinuierlich messen.
Der UV-Absorptionsgasanalysator wird häufig zur kontinuierlichen Messung und Überwachung von O3eingesetzt, dem Hauptverursacher von photochemischem Smog. Es wird auch zur Überwachung von O3als Kontamination in Halbleiter-Reinräumen eingesetzt.
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