Elipsometría

Elipsometría espectroscópica

La técnica más adecuada para la caracterización de películas delgadas

La elipsometría espectroscópica es una técnica óptica sensible a la superficie, no destructiva y no intrusiva, ampliamente utilizada para capas delgadas y caracterización de superficies. Se basa simplemente en el cambio en el estado de polarización de la luz al reflejarse oblicuamente desde una muestra de película delgada. Dependiendo del tipo de material, los elipsómetros espectroscópicos pueden medir un grosor desde unos pocos Å hasta decenas de micras. También es una técnica excelente para la medición en varias capas.

La elipsometría espectroscópica permite caracterizar una variedad de propiedades de películas finas, como el grosor de la capa, propiedades ópticas (n,k), la brecha de banda óptica, el grosor de la interfaz y rugosidad, la composición de la película, la uniformidad por profundidad y área, y más.

Los materiales adecuados para la elipsometría espectroscópica incluyen semiconductores, dieléctricos, polímeros, orgánicos y metales. La elipsometría también puede utilizarse para estudiar interfaces sólido-líquido o líquido-líquido.

HORIBA elipsómetros espectroscópicos utilizan tecnología innovadora para realizar mediciones de modulación de polarización de alta frecuencia sin ningún movimiento mecánico, proporcionando así un rango más rápido, amplio y mayor precisión en la caracterización en comparación con los elipsómetros convencionales.

Vídeos y seminarios web

Aprende más sobre la elipsometría espectroscópica viendo vídeos educativos y descubre algunas de sus aplicaciones con nuestra colección de seminarios web.


 

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Tecnología y preguntas frecuentes

La elipsometría espectroscópica es una técnica óptica no destructiva, sin contacto y no invasiva que se basa en el cambio en el estado de polarización de la luz al reflejarse oblicuamente desde una muestra de película delgada. Aprende más sobre esta técnica en las páginas de Tecnología.

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Repetición del seminario web: Fundamentos de la elipsometría: Una poderosa técnica de caracterización de películas delgadas

La elipsometría es una técnica de caracterización bien conocida, aunque a veces poco comprendida, para películas delgadas. Basándose en la polarización de la luz y la determinación indirecta de parámetros, la elipsometría permite obtener el grosor de la película fina y parámetros ópticos, rugosidad, porosidad o incluso información composicional sobre capas simples y pilas complejas. Muy útil en los campos de semiconductores, fotovoltaica, recubrimientos ópticos y en toda aplicación con películas finas, la elipsometría ha alcanzado desde hace algunos años una madurez instrumental que permite abrirla a usuarios no expertos. ¡Ven y re)descubre lo básico de esta poderosa técnica para tus necesidades de caracterización de materiales!

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