Smart SE

Ellipsómetro espectroscópico potente y rentable

Smart SE, Elipsómetro Espectroscópico Potente y Rentable

El Smart SE de HORIBA es un elipsómetro espectroscópico versátil para mediciones rápidas y precisas en películas finas. Caracteriza el grosor de la película fina desde unos pocos Angstroms hasta 20μm, las constantes ópticas (n,k) y las propiedades estructurales de la película delgada (como rugosidad, capas ópticas gradadas y anisotrópicas, etc.).

El rango espectral de 450 a 1000nm se mide en pocos segundos y los datos elipsométricos se analizan utilizando la plataforma de software DeltaPsi2. El software integra dos niveles de software para cumplir tanto el análisis rutinario con recetas predefinidas como el análisis avanzado con modelado elipsométrico de última generación.

El elipsómetro Smart SE es una herramienta rentable de investigación y desarrollo en película delgada sin concesiones en las características, y ofrece un rendimiento de calidad de investigación a un precio económico. Proporciona un sistema de visión integrado para una posición precisa de puntos, siete micromanchas automatizadas con tamaños que van hasta unas pocas decenas de micras para la medición de pequeñas características, y la capacidad de medir la matriz Mueller completa de 16 elementos en solo unos segundos para el estudio de muestras complejas.

El diseño flexible del Smart SE permite la automatización total de la etapa de muestra y del goniómetro, así como su uso in situ en cámaras de proceso. Se adapta a cualquier aplicación o presupuesto para una amplia variedad de áreas, incluyendo microelectrónica, fotovoltaica, pantallas, recubrimientos ópticos, tratamientos superficiales y compuestos orgánicos.

Segment: Científico

Division: Elipsometría Espectroscópica

Empresa de Fabricación:HORIBA France SAS

Rápido y preciso
Fácil de actualizar
Visualización de tu muestra puntual

Configuraciones estándar
Rango de espectros:	450nm a 1000nm
Resolución de espectros	Mejor que 3nm
Fuente de luz	Combinado halógeno y LED azul
Tiempo de medición	<1 segundo a 10 segundos
Tamaño de la viga	75μm * 150μm, 100μm * 250μm, 100μm * 500μm, 150μm * 150μm, 250μm * 250μm, 250μm * 500μm, 500μm*500μm
Ángulo de incidencia	45 ⁰ a 90 ^{0 por} paso de 5 ⁰
Tamaño de la muestra	Hasta 200 mm
Alineación de muestras	Ajuste manual de altura y inclinación de 17 mm
Dimensiones	100cm * 46cm * 23cm (WHD)

Actuaciones
Precisión aérea directa	Ψ=45 ⁰ ±0,05 ⁰ Δ=0 ⁰ ±0,2 ⁰
Precisión del espesor en óxido de 1000 Å	0.04%
Repetibilidad de espesor en óxido de 1000 Å	±0.02%