
Como resultado del rápido desarrollo en la fabricación de semiconductores, muchos tipos de dispositivos optoelectrónicos como diodos láser, LEDs y transistores de alta movilidad electrónica (HEMT) se fabrican ahora mediante métodos de crecimiento epitaxial. Para mejorar y caracterizar su calidad, estos dispositivos son inspeccionados ópticamente. La espectroscopía de fotoluminiscencia (PL) y fotoreflectancia (PR) están entre los métodos ópticos más importantes. PL y PR son técnicas sin contacto y no destructivas, y se pueden obtener diferentes tipos de información óptica de cada una. PL estudia los fotones emitidos por un material o dispositivo cuando son excitados por una fuente de luz externa.
Espectrógrafos de imagen de triple rejilla de distancia focal corta
Espectrómetros de imagen de longitud focal media
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