Instrumentación GDOES RF pulsada
GDOES es una técnica analítica que proporciona un análisis ultrarrápido del perfil de profundidad elemental de materiales en capas, ofreciendo simultáneamente la medición cuantitativa de todos los elementos y grosores con resolución en profundidad nanométrica. Los instrumentos GDOES RF pulsados de HORIBA, con Perfilado de Interferometría Diferencial (DiP), son las herramientas complementarias ideales para la investigación de materiales y la elaboración de procesos.
La innovadora fuente de RF pulsada permite el perfilado de todo tipo de muestras sólidas con un rendimiento óptimo, desde el primer nanómetro hasta más de 150μm. Los materiales poliméricos se pulverizan fácilmente con el patentado Ultra Fast Sputtering (UFS). Además, esta fuente también puede utilizarse para preparar superficies de muestra para la Microscopía Electrónica de Barrido (SEM).
Se pueden medir todos los elementos, incluyendo hidrógeno, deuterio, litio, carbono, nitrógeno, oxígeno y más.
El patentado Perfilado por Interferometría Diferencial (DiP) permite la medición directa de la profundidad en función del tiempo, con precisión nanométrica, que se realiza simultáneamente con el análisis de DG.
Los detectores de alto rango dinámico patentados (HDD) utilizados en todos HORIBA instrumentos GD permiten optimización automática en tiempo real de la sensibilidad, analizar elementos a niveles de traza en una capa y, de forma importante, en una segunda capa sin compromisos ni necesidad de hacer ajustes.