TERS fabricación de puntas se basa actualmente en recubrir puntas AFM estándar (total o parcialmente) con una capa metálica o en el grabado de puntas totalmente metálicas mediante electroquímica de hilos metálicos voluminosos 22. Estas últimas puntas se utilizan para la regulación STM o microscopía normal/de fuerza cortante, una vez montadas individualmente en la horquilla de un resonador de cuarzo.
El método más común hoy en día es la metalización (oro o plata) de voladizos convencionales AFM con una capa fina de unas pocas decenas de nanómetros. El recubrimiento suele realizarse mediante evaporación 8-9, sputtering 10 o electrodeposición 11-12. El grabado de esta capa mediante un haz de iones enfocado (FIB) justo después del recubrimiento también podría usarse para reducir los efectos de la antena a lo largo del propio recubrimiento y aumentar el realce del campo electromagnético 13. La afinabilidad del plasmón de longitud de onda de resonancia puede obtenerse variando las dimensiones del vértice final usando nano-mecanizado FIB 14, que también puede usarse para cables metálicos a granel grabados 15. Para mejorar mejor las puntas de AFM-TERS, un método es injertar una nanopartícula en las proximidades de la punta AFM. Por ejemplo, las nanopartículas de plata podrían crecer por fotorreducción al final de un voladizo mediante irradiación luminosa en una solución química compuesta por AgNO 3 y agentes reductores 16. La eficiencia de mejora puede ajustarse variando las condiciones de deposición y recocido de las nanopartículas de plata 17.
La nanopartícula también puede tener una forma cónica que mejorará enormemente la mejora producida al estrechar las líneas de campo y acumular densidad de carga en el ápice. Los nanoconos metálicos pueden obtenerse mediante un enfoque de arriba hacia abajo mediante litografía electrónica para crear nanoagujeros en una capa de PMMA, evaporación metálica para rellenar estos agujeros (y luego formar una nanopartícula cónica) y despegar para liberar el PMMA 18-19. También pueden obtenerse mediante un proceso de grabado en seco de una capa metálica, donde aparecen nanoconos bajo una máscara protectora 20-21.
