Se puede crear un plasma utilizando muchos gases. El argón suele ser preferido por sus características. Como todos los gases nobles, es monoatómica, químicamente inerte y su energía de ionización es alta (15,76 eV). El uso de argón tiene muchas ventajas:
Su única limitación es su baja conductividad térmica, lo que también puede ser una ventaja, simplificando el diseño de los instrumentos. Algunos instrumentos que utilizan helio o aire han sido diseñados en el pasado. El alto coste del helio y las desventajas del aire con un espectro complejo emitido, la formación de compuestos estables con elementos y su menor energía de ionización han limitado el uso o el rendimiento de tales instrumentos.
Toda la información relevante para el análisis elemental está en el rango de longitudes de onda de 120-800 nm. Algunos instrumentos solo pueden acceder al rango de 160-800 nm, limitando el rango de aplicaciones que ICP-OES puede abordar. El rango de 120-160 nm es especialmente útil para análisis de halógenos o para líneas alternativas en algunas aplicaciones especiales.