| 型式 | IR-200 |
|---|---|
| 測定ガス種 | SiF4 |
| 測定濃度範囲 | 0～5000ppm(0～500Pa)※ |
| 再現性 | ±1%F.S. |
| ガスセル光路長 | 30mm |
| 応答速度 | T90: 30秒以下 |
| ガスセル耐圧 | 0.3MPa(G) |
| ガスセル加熱温度 | 150℃(最大) |
| 接ガス部材質 | SUS-316L、BaF2、FKM |
| リークレート | 1×10-10Pa・m3/s |
| 配管取合い | NW25フランジ |
| アナログ出力 | DC 4-20mA |
| 接点出力 | ERR、High、Lowアラームの3チャンネル |
| 接点入力 | ゼロ校正用として、1チャンネル |
| 電源 | DC 24V、30W(最大) |
| 外形寸法 | センサユニット： 150×268×90mm コントロールユニット： 96×130×48mm |
質量 | センサユニット：約4.5kg コントロールユニット：約0.5kg |
チャンバクリーニング終点検知用ガスモニタ IR-200
半導体製造の成膜プロセスは、微細加工の進歩に伴い、処理後のチャンバを常にクリーンな状態に保つことが、生産性向上に重要とされています。IR-200は、排ガス成分をリアルタイムに監視する成膜プロセス用チャンバークリーニング終点検知モニタです。ドライクリーニング終点検知の最適化、クリーニングガス・時間の削減、チャンバーダメージの低減による部品の長寿命化に貢献します。
