設備 / サブファブ関連

半導体製造におけるファシリティは、クリーンルームや先端製造装置を安定稼働させるため重要な設備となります。プロセス材料や超純水の供給、空調などのインフラに加え、現在は省エネや再生可能エネルギーの活用も進み、グリーンで持続可能な運用が求められています。HORIBAは「はかる」技術を通じて、プロセスの最適化や安定稼働だけでなく、環境負荷の低減に貢献し、半導体製造の信頼性とサステナビリティの両立を支えています。