XGT-7000 X선 분석 현미경

개요

XGT-7000은 완전한 신형 XRF microscope로써 분석의 새 시대를 여는 장비입니다. 결점분석영역에서 광학분석까지 원소분석과 혁신적인 미소 및 극소 영역까지 가능한 설비로 일반과학에서 연구자까지 사용 가능합니다. 독특한 H/W의 기능으로  다양하고 유동적인 분석이 가능하며 2가지 S/W를 사용하여 10um에서 1.2mm까지 다양한 영역이 최적화하여 분석이 가능합니다.
2가지의 진공mode를 사용하여 고정도 분석과 일반대기상태에서도 분석이 가능하여 Na부터 U까지 분석이 가능합니다. 최적화된 광학상을 이용하여 정확하고 간단한 분석이 가능합니다.
단(single)점 및 다점 분석
단점분석과 자동다점 분석으로 얻어진 data로 정성 및 정량 그리고 FPM방식과 검량선법을 이용하여 고정도의 분석이 가능합니다. 또한 두께분석기능을 사용하여 다층막분석도 가능합니다.
다원소 mapping analysis
Full EDXRF image software를 사용하여 사전원소분석과 정성과 정량 총괄적으로 분석이 가능합니다. 또한 투과 기능을 사용하여 실제로 보이는 것과 같은 투과상을 얻을 수 있습니다.

기능

  • XGT-7000만이 보유한 고유한 guide tube를 사용하여 다양한 종류의 application 전자 , 엔진분석 수사과학 지질학, 광물학 , 약학, 박물관학 , 생체학등의 매우 넓은 분야에  대응이 가능합니다. 또한 미소분석에서 거시분석까지 다양한 분석영역 을 투과기능과 함께 분석이 가능합니다.
  • 고분해능
    고유의 guide tube를 사용하여 최소 10um의 미소분석을 비파괴로 분석이 가능합니다.
  • 투과 X ray mapping
    Mapping image와 투과 image를 결합하여 국소 부분의 내부구조의 해석이 가능하여 보이지 않는 영역까지 분석이 가능합니다.
  • Dual 진공
    Dual 진공 mode기능을 사용하여 수초 내에 Sample stage 부분이나 혹은 Chamber내부를 진공으로 만드는 mode를 사용할수 있습니다. 이러한 진공은 간섭영향을 최소화하여 저 농도 분석 시 고정도의 분석을 실현시켜 드립니다.
  • 분석영역의 확대
    최소 10um 에서 10x10cm까지의 거대영역까지 mapping 분석이 가능합니다.
  • 집적data 의 분석
    고객이 사용하기 쉬운 software를 채택하여 광학분석 여러가지 분석영역지정, RGB합성, 정성 및 정량분석과 성분의 line Element profile구성 image 조정의 분석이 가능합니다.
  • Slice
    SLICE software module을 사용하여 각각에 따른 Image, text, spectrum, 그리고 database의 SLICE를 사용하여 간단하고 쉽게 운영이 가능합니다.

제조원 HORIBA

사양

Elements: Na to U

X-ray tube: Rh target  / Tube voltage 50kV  / Tube current 1mA

Fluorescent X-ray detector: High pure Si detector

Transmitted X-ray detector: Nai(Tl) scintilltor

X-ray guide tube: Mono capillary  10μm / 100μm with no filter

Optical image: Full sample optical image and coaxial magnification image

Sample stage size: XY : 100mm×100mm

Sample chamber: Vacuum chamber model/ Max 300mm×300mm×80mm in vacuum

Signal processing: Digital pulse processor ( INCA unit )

Qualitative analysis: Auto identification /  KLM marker /  Peak search / Compare spectrum

Quantitative analysis: Non standard FPM / Standard FPM / Standard file matching FPM /Calibration curve /   Multi layer FPM (Thickness gage) /Multi point analysis (Max5000) /  Multi point result send to Excel / XGT-5000 spectrum view

Mapping function: Transmitted X-ray image / Elemental image / Spectrum mapping /  Rectangle mapping / Generate spectrum / RGB composition / Scale maker / Line analysis

Other function: Possible to start the XGT-5000 software simultaneously.

외형도

XGT-7200 Main unit
XGT-7200 Data processing unit