清洁、可再生能源的发展仍在继续。HORIBA的分析、测量和控制技术正在推动光伏发展向电网平价迈进。HORIBA产品用于晶体和薄膜太阳能电池的制造过程。并将我们丰富的科学分析经验应用在您的研发实验室。HORIBA的高可靠性过程监视器和流体控制器在生产过程中提供质量保障.堀场在半导体和FPD行业的悠久历史,定制检测系统,让HORIBA 帮助你们迎接提高光伏电池生产效率的挑战。
独立式化学药液浓度计
Chemical Solution Monitoring System
光纤型化学药液浓度计
光纤型化学药液浓度计
光纤型高温磷酸浓度计
高精度、高稳定性化学药液浓度计
非接触式化学药液浓度计
高响应压力非敏感质量流量器
Best Performance Pressure Insensitive Mass Flow Module
Micro Flow Pressure Insensitive Mass Flow Module
宽范围压敏质量流量计
紧凑型质量流量控制器
排气压力控制器
基于光发射光谱和 MWL 干涉测量法的工艺终点/反应腔健康监测
光发射光谱蚀刻终点监测仪
热式气体分流器
晶圆背面冷却系统
低浓度溶解氧浓度计
碳传感器电导率计(低浓度型)
工业级电阻率计
柠檬酸浓度计
KOH 浓度计
宽测量范围 TMAH 浓度计
高精度 TMAH 浓度计
碳传感器电导率计(高浓度)
碳传感器电导率计
平面碳传感器电导率计
碳传感器电阻率计
双通道电阻率计
在线传感器和自动测量范围切换浓度计
HF / HCl 浓度计
低浓度型 HF/HCl/NH3 浓度计
双通道高精度 HF 浓度计
工业 级pH 计
溶解臭氧浓度计
H2O2 浓度计
用于腔室清洗终点监测的气体监测仪
蒸汽浓度监测仪
用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪
大流量液体源汽化控制系统
基于实时激光干涉测量的摄像头终点监测
数字式液体质量流量计/控制器
Laser Gas Analyzer
紧凑型加热汽化
自动供液系统
混合注入系统液体汽化器
Quadrupole Mass Analyzer
紧凑型工艺气体监测仪
MU 系列混合气体发生器
混合注入系统液体汽化器
压电阀
等离子体发射控制器
质量流量控制器
高温数字式质量流量控制器
质量流量控制器
数字式质量流量控制器
多量程/多气体数字质量流量控制器
压力补偿质量流量控制器
高灵敏度二氧化硅浓度计
试验气体生成系统
微量 pH 计
数字式自动压力调节器
直接液体注入系统
电容压力计
电容式压力计
数字式液体质量流量计
压差式质量流量控制器