清洁、可再生能源的发展仍在继续。HORIBA的分析、测量和控制技术正在推动光伏发展向电网平价迈进。HORIBA产品用于晶体和薄膜太阳能电池的制造过程。并将我们丰富的科学分析经验应用在您的研发实验室。HORIBA的高可靠性过程监视器和流体控制器在生产过程中提供质量保障.堀场在半导体和FPD行业的悠久历史,定制检测系统,让HORIBA 帮助你们迎接提高光伏电池生产效率的挑战。
独立式化学药液浓度计
光纤型化学药液浓度计
光纤型化学药液浓度计
光纤型高温磷酸浓度计
高精度、高稳定性化学药液浓度计
非接触式化学药液浓度计
高响应压力非敏感质量流量器
宽范围压敏质量流量计
紧凑型质量流量控制器
排气压力控制器
基于光发射光谱和 MWL 干涉测量法的工艺终点/反应腔健康监测
光发射光谱蚀刻终点监测仪
热式气体分流器
晶圆背面冷却系统
低浓度溶解氧浓度计
碳传感器电导率计(低浓度型)
工业级电阻率计
柠檬酸浓度计
KOH 浓度计
宽测量范围 TMAH 浓度计
高精度 TMAH 浓度计
碳传感器电导率计(高浓度)
碳传感器电导率计
平面碳传感器电导率计
碳传感器电阻率计
双通道电阻率计
TMAH 电导率计.控制 TMAH 显影液浓度的理想选择
在线传感器和自动测量范围切换浓度计
HF / HCl 浓度计
低浓度型 HF/HCl/NH3 浓度计
双通道高精度 HF 浓度计
工业 级pH 计
溶解臭氧浓度计
H2O2 浓度计
用于腔室清洗终点监测的气体监测仪
蒸汽浓度监测仪
用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪
大流量液体源汽化控制系统
基于实时激光干涉测量的摄像头终点监测
数字式液体质量流量计/控制器
紧凑型加热汽化
自动供液系统
POCl3 自动供液系统
混合注入系统液体汽化器
Quadrupole Mass Analyzer
紧凑型工艺气体监测仪
MU 系列混合气体发生器
混合注入系统液体汽化器
压电阀
等离子体发射控制器
质量流量控制器
高温数字式质量流量控制器
质量流量控制器
数字式质量流量控制器
多量程/多气体数字质量流量控制器
压力补偿质量流量控制器
高灵敏度二氧化硅浓度计
试验气体生成系统
微量 pH 计
数字式自动压力调节器
直接液体注入系统
蒸汽浓度控制器
电容压力计
电容式压力计
数字式液体质量流量计
压差式质量流量控制器