光纤制造工艺

等离子炬气体控制在光纤制造工艺中起着至关重要的作用。HORIBA 为精确和重复控制气体流量提供流量测量和控制技术。光纤制造商在生产预制棒时可使用起泡系统或热箱输送三氯氧磷(POCl3)、四氯化硅(SiCl4)和四氯化锗(GeCl4)。能否对汽化过程进行精确和可重复控制取决于起泡器/热箱的精确操作和载气的严格控制。

HORIBA 旗舰产品 SEC-Z500X 系列可以控制高达 500slm 的流量,与 SEC-8000 系列高温 MFC 结合使用,是对关键工艺气体进行精确流量控制的完美解决方案。

相关产品

详情 LE 系列

大流量液体源汽化控制系统

详情 LU-4000 系列

POCl3 自动供液系统

详情 MV-2000 系列

混合注入系统液体汽化器

详情 SEC-N100 系列

数字式质量流量控制器

详情 SEC-8000 F/D/E 系列

高温数字式质量流量控制器

详情 MICROPOLE 系统

紧凑型工艺气体监测仪

详情 LF-F/LV-F 系列

数字式液体质量流量计/控制器

详情 LSC 系列

紧凑型加热汽化

详情 LU 系列

自动供液系统

详情 MI-1000/MV-1000

混合注入系统液体汽化器

详情 VC 系列

直接液体注入系统

详情 SEC-Z500X

多量程/多气体数字质量流量控制器

报价咨询

如您有任何疑问,请在此留下详细需求信息,我们将竭诚为您服务。