等离子炬气体控制在光纤制造工艺中起着至关重要的作用。HORIBA 为精确和重复控制气体流量提供流量测量和控制技术。光纤制造商在生产预制棒时可使用起泡系统或热箱输送三氯氧磷(POCl3)、四氯化硅(SiCl4)和四氯化锗(GeCl4)。能否对汽化过程进行精确和可重复控制取决于起泡器/热箱的精确操作和载气的严格控制。
HORIBA 旗舰产品 SEC-Z500X 系列可以控制高达 500slm 的流量,与 SEC-8000 系列高温 MFC 结合使用,是对关键工艺气体进行精确流量控制的完美解决方案。
大流量液体源汽化控制系统
POCl3 自动供液系统
混合注入系统液体汽化器
数字式质量流量控制器
高温数字式质量流量控制器
数字式液体质量流量计/控制器
紧凑型加热汽化
自动供液系统
混合注入系统液体汽化器
直接液体注入系统
多量程/多气体数字质量流量控制器
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